株式会社斯库林集团冲田展彬获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底洗净装置、衬底洗净系统、衬底处理系统、衬底洗净方法及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115621162B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210854232.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底洗净装置、衬底洗净系统、衬底处理系统、衬底洗净方法及衬底处理方法是由冲田展彬;石井淳一;中村一树;筱原敬;冈田吉文;筱原智之;髙桥拓马设计研发完成，并于2022-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底洗净装置、衬底洗净系统、衬底处理系统、衬底洗净方法及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底洗净装置、衬底洗净系统、衬底处理系统、衬底洗净方法及衬底处理方法。上侧保持装置将衬底以水平姿势保持且不使它旋转。下侧保持装置吸附保持衬底且使它旋转。使用洗净液洗净由上侧保持装置保持的衬底，使用洗净液洗净由下侧保持装置保持的衬底。处理空间的气体通过排气系统由工场的排气设备排出。在由上侧保持装置保持衬底时，不排出处理空间的气体或者以第1流量排出所述处理空间的气体。在由下侧保持装置保持衬底时，以高于第1流量的第2或第3流量排出处理空间的气体。
本发明授权衬底洗净装置、衬底洗净系统、衬底处理系统、衬底洗净方法及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底洗净装置，其洗净衬底，且具备： 处理室，具有能够收纳衬底的处理空间； 第1衬底保持部，通过与衬底的多个部分抵接，将衬底以水平姿势保持且不使它旋转； 第2衬底保持部，通过吸附于衬底而将衬底以水平姿势保持且使它绕上下方向的轴旋转； 洗净部，在所述处理空间内，使用洗净液洗净由所述第1衬底保持部保持的衬底，在对由所述第1衬底保持部保持的衬底进行洗净前或洗净后，使用洗净液洗净由所述第2衬底保持部保持的衬底； 排气系统，连接所述处理空间与设置于所述处理室的外部的排气设备，由所述排气设备排出所述处理空间的气体；及 排气量调整部，以如下的方式调整流过所述排气系统的气体的流量，也就是，在由所述第1衬底保持部保持衬底且使用洗净液洗净被保持的衬底时，不排出所述处理空间的气体或者以第1流量排出所述处理空间的气体，在由所述第2衬底保持部保持衬底且使用洗净液洗净被保持的衬底时，以高于所述第1流量的第2流量排出所述处理空间的气体。
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