精工爱普生株式会社坂下友树获国家专利权
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龙图腾网获悉精工爱普生株式会社申请的专利干涉滤波器以及干涉滤波器的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115616695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210809899.6,技术领域涉及:G02B5/28;该发明授权干涉滤波器以及干涉滤波器的制造方法是由坂下友树;西村晃幸设计研发完成,并于2022-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本干涉滤波器以及干涉滤波器的制造方法在说明书摘要公布了:本申请提供干涉滤波器以及干涉滤波器的制造方法。干涉滤波器具备:透光性的第一基板,具有第一内表面和第一外表面,在第一内表面设置有第一反射膜;透光性的第二基板,具有第二内表面和第二外表面,在第二内表面设置有第二反射膜;第一接合部,将第一内表面与第二内表面接合,将第一基板与第二基板间的第一内部空间密封;透光性的第三基板,与第一外表面对置;第二接合部,将第一外表面与第三基板接合,将第一基板与第三基板间的第二内部空间密封;透光性的第四基板,与第二外表面对置;以及第三接合部,将第二外表面与第四基板接合,将第二基板与第四基板间的第三内部空间密封,第一内部空间、第二内部空间及第三内部空间减压至低于大气压。
本发明授权干涉滤波器以及干涉滤波器的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种干涉滤波器,其特征在于,具备: 透光性的第一基板,具有相互对置的第一内表面和第一外表面,在所述第一内表面设置有第一反射膜; 透光性的第二基板,具有相互对置的第二内表面和第二外表面,在所述第二内表面设置有与所述第一反射膜对置的第二反射膜; 第一接合部,将所述第一内表面与所述第二内表面彼此接合,所述第一接合部对所述第一基板与所述第二基板之间的第一内部空间进行密封; 透光性的第三基板,与所述第一外表面对置; 第二接合部,将所述第一外表面与所述第三基板彼此接合,所述第二接合部对所述第一基板与所述第三基板之间的第二内部空间进行密封; 透光性的第四基板,与所述第二外表面对置;以及 第三接合部,将所述第二外表面与所述第四基板彼此接合,所述第三接合部对所述第二基板与所述第四基板之间的第三内部空间进行密封, 所述第一内部空间、所述第二内部空间以及所述第三内部空间被减压至低于大气压, 所述第一基板的基板厚度大于所述第二基板, 所述第二基板包括:可动部,设置有第二反射膜;隔膜部,包围所述可动部的外周,且所述隔膜部的厚度小于所述可动部;以及基板外周部,设置于所述隔膜部的外侧,且所述基板外周部的厚度大于所述隔膜部, 所述干涉滤波器具备静电致动器,所述静电致动器使所述可动部向所述第一基板侧位移。
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