恩特格里斯公司R·V·拉施克获国家专利权
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龙图腾网获悉恩特格里斯公司申请的专利具有穿过光罩隔室壁的保持部的光罩盒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115004111B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080094226.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权具有穿过光罩隔室壁的保持部的光罩盒是由R·V·拉施克;P·莱恩;A·M·蒂本设计研发完成，并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有穿过光罩隔室壁的保持部的光罩盒在说明书摘要公布了：一种光罩盒包含外部分及内部分，所述外部分包含盒门及盒圆顶，所述内部分包含底板及盖。所述底板或所述盖中的一者包含朝向所述底板或所述盖中的另一者延伸的光罩隔室壁。所述光罩隔室壁包含一或多个保持特征。所述盒门或所述盒圆顶包含经配置以接触所述保持特征的一或多个致动表面。所述保持特征经配置以通过与所述致动表面的接触而被移动。所述保持特征可处于一位置中，所述位置经配置以在通过将所述底板与所述盖接合、将所述经接合底板与所述经接合盖放置于所述盒圆顶内及将所述盒门紧固到所述盒圆顶而组装所述光罩盒时将光罩紧固于所述光罩盒的所述内部分内。
本发明授权具有穿过光罩隔室壁的保持部的光罩盒在权利要求书中公布了：1.一种光罩盒，其包括： 内部分，其包含盖及底板，所述盖及所述底板中的一者包含从所述盖及所述底板中的所述一者延伸的光罩隔室壁，所述光罩隔室壁包含一或多个保持特征；及 外部分，其包含盒圆顶及盒门，所述盒圆顶及所述盒门中的一者包含一或多个致动表面，所述一或多个致动表面经配置以在所述盖接合到所述底板时接触所述一或多个保持特征中的至少一者，所述盒圆顶接合到所述盒门，且经接合盖与经接合底板在经接合盒圆顶与经接合盒门内， 其中当所述一或多个致动表面接触所述一或多个保持特征时，所述保持特征经配置以被定位，使得其能够在光罩位于经接合盖与经接合底板内时接触所述光罩以限制或阻止所述光罩的移动，且 其中所述一或多个保持特征中的每一者能够在具有分量的方向上线性移动，所述分量具有介于从与所述光罩隔室壁的平面成零度到九十度的范围内的角度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人恩特格里斯公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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