福建省晋华集成电路有限公司王鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉福建省晋华集成电路有限公司申请的专利光照设备及其使用方法以及半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114779588B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210451848.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光照设备及其使用方法以及半导体处理设备是由王鹏;颜泽斌;赖俊生设计研发完成，并于2022-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本光照设备及其使用方法以及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种光照设备及其使用方法以及半导体处理设备，能够减小因灯泡灼烧Bulbburning导致的UVLS发出的光源强度衰减，优化光刻效果。本申请中的光照设备包括：光源，用于输出第一功率的光信号，且所述光信号至少能够沿预设光路出射；放大灯罩，所述光信号出射时经过所述放大灯罩，所述放大灯罩表面设置有至少两个预设区域，各个所述预设区域的透光率相同；驱动部，通过传动器件连接到所述放大灯罩，用于驱动所述放大灯罩转动，所述放大灯罩转动过程中，始终以所述预设区域经过所述预设光路。
本发明授权光照设备及其使用方法以及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种光照设备，其特征在于，包括： 光源，用于输出第一功率的光信号，且所述光信号至少能够沿预设光路出射，所述光源出射的光信号的波长范围为450~750nm，所述光源包括惰性气体以及激光光源，所述激光光源用于提供激光； 放大灯罩，所述光信号出射时经过所述放大灯罩，所述放大灯罩表面设置有至少两个预设区域，各个所述预设区域的透光率相同；所述惰性气体置于所述放大灯罩中，用于在所述激光的照射下激发发光； 驱动部，通过传动器件连接到所述放大灯罩，用于驱动所述放大灯罩转动，所述放大灯罩转动过程中，始终以所述预设区域经过所述预设光路。
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