HOYA株式会社三好将之获国家专利权
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龙图腾网获悉HOYA株式会社申请的专利光掩模、显示装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114660887B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210373658.1，技术领域涉及：G03F1/32；该发明授权光掩模、显示装置的制造方法是由三好将之;一之濑敬设计研发完成，并于2018-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩模、显示装置的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供光掩模、显示装置的制造方法。光掩模具有在透明基板上形成的转印用图案，转印用图案包括：主图案，其由透光部构成，直径为W1；辅助图案，其配置在所述主图案的附近，不被曝光装置析像，具备宽度d；及遮光部，其构成除了主图案和辅助图案之外的区域，遮光部是在透明基板上至少形成遮光膜而成的，辅助图案隔着遮光部而包围主图案的周围，且由在透明基板上形成半透光膜而成的相移部构成，该半透光膜具有使曝光用光的代表波长的光在大致180度的范围内相移的相位特性，并且具有针对代表波长的光的透射率T，辅助图案的一部分区域的透射光量比辅助图案的其他区域的透射光量低，光掩模被实施了扩张主图案的宽度的扩张修正。
本发明授权光掩模、显示装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种光掩模，其具有在透明基板上形成的转印用图案， 该光掩模的特征在于， 所述转印用图案包括： 主图案，其由透光部构成，直径为W1μm； 辅助图案，其配置在所述主图案的附近，不被曝光装置析像，具备宽度dμm；及 遮光部，其构成除了所述主图案和所述辅助图案之外的区域， 所述遮光部是在所述透明基板上至少形成遮光膜而成的， 所述辅助图案隔着所述遮光部而包围所述主图案的周围，且由在所述透明基板上形成半透光膜而成的相移部构成，该半透光膜具有使曝光用光的代表波长的光在180±15度的范围内相移的相位特性，并且具有针对所述代表波长的光的透射率T％， 所述辅助图案的一部分区域的透射光量比所述辅助图案的其他区域的透射光量低， 所述一部分区域为黑缺陷的区域， 代替所述辅助图案中的所述黑缺陷的区域被实施修正，所述光掩模被实施了扩张所述主图案的宽度的扩张修正。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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