台达电子工业股份有限公司林修纬获国家专利权
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龙图腾网获悉台达电子工业股份有限公司申请的专利晶圆载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979080U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520450585.0，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型晶圆载台是由林修纬;宋柏辰;廖伟捷;龚圣翔;许仁玮;何国诚设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载台在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆载台，其包括一本体、多个定位臂及一致动机构。定位臂设置在本体且环列配置，每一定位臂包含并列配置的一第一夹爪及一第二夹爪，第一夹爪固设在本体，第二夹爪相对于本体可活动配置，第二夹爪沿本体的径向可活动配置，第一夹爪具有一承载坡面，承载坡面向上配置且承载坡面相对于水平面朝向多个该第二夹爪排列中心略倾斜配置，第二夹爪具有一立面，立面朝向本体配置，且立面的至少一部分高于承载坡面，各第二夹爪分别沿多个该第二夹爪排列的径向可活动配置。致动机构分别连接各第二夹爪而使多个该第二夹爪同步连动。
本实用新型晶圆载台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载台，其中，包括： 一本体； 多个定位臂，设置在该本体且环列配置，每一该定位臂包含并列配置的一第一夹爪及一第二夹爪，该第一夹爪固设在该本体，该第二夹爪相对于该本体可活动配置，该第二夹爪沿该本体的径向可活动配置，该第一夹爪具有一承载坡面，该承载坡面向上配置且该承载坡面相对于水平面朝向多个该第二夹爪排列中心略倾斜配置，该第二夹爪具有一立面，该立面朝向该本体配置，且该立面的至少一部分高于该承载坡面，各该第二夹爪分别沿多个该第二夹爪排列的径向可活动配置；及 一致动机构，分别连接各该第二夹爪而使多个该第二夹爪同步连动。
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