瑞材(厦门)科技有限公司李敏宣获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞材(厦门)科技有限公司申请的专利一种晶圆夹持机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223979079U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520092405.6,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种晶圆夹持机构是由李敏宣;赵腾飞;陈华鑫设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹持机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆夹持机构,涉及晶圆夹持技术领域,包括主体支架,主体支架由主板和连接板组成,连接板有若干个且对称固定安装在主板的外壁上,主板的上端固定安装有安装支架,相邻的两个连接板上安装有一个夹持组件,夹持组件由弧形夹板、弧形橡胶板、安装滑板以及复位弹簧组成,弧形橡胶板固定安装在弧形夹板内,通过设置由主体支架、安装支架、夹持组件、推动组件组成的晶圆夹持机构,该晶圆夹持机构能够对晶圆直接夹持,一方面不需要借助贴片环对晶圆进行夹持,实用性较好,能够满足晶圆多样化的传输转运需求,另一方面,该晶圆夹持机构对晶圆能够进行全方位夹持,夹持的稳定性较好,使得晶圆在被夹持传输的过程中不易掉落损坏。
本实用新型一种晶圆夹持机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆夹持机构,其特征在于:包括主体支架1,所述主体支架1由主板5和连接板6组成,所述连接板6有若干个且对称固定安装在主板5的外壁上,所述主板5的上端固定安装有安装支架2,相邻的两个所述连接板6上安装有一个夹持组件3,所述夹持组件3由弧形夹板10、弧形橡胶板12、安装滑板13以及复位弹簧14组成,所述弧形橡胶板12固定安装在弧形夹板10内,所述安装滑板13有两个且对称固定安装在弧形夹板10的两端,所述复位弹簧14有两个且分别固定安装在两个安装滑板13的内端,所述主板5的上端固定安装有推动组件4,所述推动组件4由气缸15、安装板16、L形连板17以及弧形推板18组成,所述安装板16固定安装在气缸15的活塞杆的上端,所述L形连板17有若干个且对称固定安装在安装板16的外壁上,所述弧形推板18有若干个且分别固定安装在若干个L形连板17的下端,所述弧形推板18的内壁与弧形夹板10的外壁接触。
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