芯恩(青岛)集成电路有限公司姜东博获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆载具及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979051U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520044363.9，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种晶圆载具及半导体加工设备是由姜东博设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载具及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆载具及半导体加工设备，晶圆载具包括腔室；多个放置组件，多个所述放置组件沿Z轴方向间隔设置于所述腔室内部，所述放置组件用于放置晶圆片；每个所述放置组件均包括两个对称设置的放置件，两个所述放置件分别固定设置于所述腔室沿X轴方向相对的侧壁；两个所述放置件相邻的侧壁上均开设有放置槽，所述放置槽沿Y轴方向贯穿所述放置件。本实用新型能够改善晶圆在放置过程中发生叠片、斜片或碎片的问题。
本实用新型一种晶圆载具及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具，其特征在于，包括腔室100； 多个放置组件200，多个所述放置组件200沿Z轴方向间隔设置于所述腔室100内部，所述放置组件200用于放置晶圆片； 每个所述放置组件200均包括两个对称设置的放置件210，两个所述放置件210分别固定设置于所述腔室100沿X轴方向相对的侧壁； 两个所述放置件210相邻的侧壁上均开设有放置槽220，所述放置槽220沿Y轴方向贯穿所述放置件210；所述放置槽220具有第一侧壁221和第二侧壁222，所述第一侧壁221与所述第二侧壁222均呈倾斜设置，且所述第一侧壁221与所述第二侧壁222的距离沿X轴朝向所述腔室100内部的方向逐步增大。
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