苏州新米特电子科技有限公司李志卫获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州新米特电子科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979048U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520573110.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆清洗设备是由李志卫设计研发完成，并于2025-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆清洗技术领域，且公开了一种晶圆清洗设备，包括清洗机本体、底座和防护组件，所述底座的内部安装有清洗组件、收集组件和定位组件。该一种晶圆清洗设备，通过设置定位组件可以对不同尺寸的晶圆进行定位工作，方便后续的清洗工作，通过设置的清洗组件可以对不同尺寸的晶圆进行清洗工作，通过设置的收集组件可以对清洗过程中产生的废料进行吸取工作，而设置的防护组件则可以直接解决清洗时碎屑向外飞溅的问题，在清洗的过程中，飞溅的碎屑会直接被预制挡板、防护罩和盖板所阻挡，防止影响其他设备的正常运行，同时通过启动第一伺服电机可以控制盖板上下移动，使盖板可以收入到预留槽中，也可以从预留槽中向上移动。
本实用新型一种晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备，包括清洗机本体1、底座2和防护组件3，其特征在于：所述底座2的内部安装有清洗组件4、收集组件5和定位组件6，所述防护组件3包括固定连接在底座2上表面的预制挡板301和固定连接在预制挡板301上表面的防护罩302，所述底座2的内部开设有预留槽303和滑槽304，所述预留槽303和滑槽304相连通，所述预留槽303的内壁滑动连接有盖板305，所述盖板305的内侧固定连接有连接块306，所述连接块306滑动套设在滑槽304的内壁，所述底座2的内底壁固定连接有第一伺服电机307，所述第一伺服电机307的输出轴端固定连接有丝杆308，所述丝杆308的外表面与连接块306的内壁螺纹连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州新米特电子科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦九江路2号1号厂房二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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