北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司吴俊桃获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利喷射装置及晶边刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979040U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520501644.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型喷射装置及晶边刻蚀设备是由吴俊桃;段昧存设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷射装置及晶边刻蚀设备在说明书摘要公布了：一种喷射装置及晶边刻蚀设备，包括：喷射本体，包括朝向晶圆的晶边区域延伸的第一端；液体喷嘴，位于所述喷射本体的第一端，用于向所述晶圆的晶边区域喷射刻蚀液体；气体喷嘴，设置于所述喷射本体的第一端且位于所述液体喷嘴靠近晶圆的中心区域的一侧，用于喷射气体以形成气体阻挡墙，防止所述液体喷嘴喷射的刻蚀液体溅射至晶圆的中心区域。本实用新型技术方案能够在晶边刻蚀工艺中防止刻蚀液体溅射至晶圆的中心区域上的膜层或图案而造成损伤，有利于提高产品良率。
本实用新型喷射装置及晶边刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种喷射装置，其特征在于，包括： 喷射本体，包括朝向晶圆的晶边区域延伸的第一端； 液体喷嘴，位于所述喷射本体的第一端，用于向所述晶圆的晶边区域喷射刻蚀液体； 气体喷嘴，设置于所述喷射本体的第一端且位于所述液体喷嘴靠近晶圆的中心区域的一侧，用于喷射气体以形成气体阻挡墙，防止所述液体喷嘴喷射的刻蚀液体溅射至晶圆的中心区域。
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