杭州光研科技有限公司陈海龙获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州光研科技有限公司申请的专利一种可单独控制的晶圆承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979038U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520499046.6，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种可单独控制的晶圆承载装置是由陈海龙;郭晓忠;翁杰设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可单独控制的晶圆承载装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆检测设备领域，尤其是一种可单独控制的晶圆承载装置，其包括旋转驱动件、转台及承载单体，所述转台沿水平方向设置，旋转驱动件带动转台在水平面内转动，所述承载单体的数量为多个，且在转台上周向均布；所述承载单体包括水平活动件及竖直滑块，所述水平活动件在转台上沿径向移动，竖直滑块在水平活动件上沿竖直方向移动，竖直滑块上固定设置用于夹持晶圆的夹爪。本实用新型通过设置多个相互独立的承载单体，使各夹爪在对晶圆进行稳定承托的同时能够实现独立动作，在晶圆边沿检测过程中，待检测位置的承载单体可以将夹爪单独收回，从而将晶圆边沿区域完全暴露出来。
本实用新型一种可单独控制的晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种可单独控制的晶圆承载装置，其特征在于，包括旋转驱动件11、转台12及承载单体，所述转台12沿水平方向设置，旋转驱动件11带动转台12在水平面内转动，所述承载单体的数量为多个，且在转台12上周向均布；所述承载单体包括水平活动件22及竖直滑块35，所述水平活动件22在转台12上沿径向移动，竖直滑块35在水平活动件22上沿竖直方向移动，竖直滑块35上固定设置用于夹持晶圆的夹爪4。
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