台湾积体电路制造股份有限公司朱昭宏获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利用于悬臂梁的双电容调平系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979021U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520142372.1，技术领域涉及：H10N39/00；该实用新型用于悬臂梁的双电容调平系统是由朱昭宏;林璟晖;黄富骏;叶柏辰;张仪贤;郑创仁;黄士芬设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于悬臂梁的双电容调平系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于悬臂梁的双电容调平系统，其包括：压电区，包括底电极层、压电层和顶电极层；第一电容，包括底电极层，第一绝缘膜和初级金属层，初级金属层电连接至顶电极层；二极管，电连接至底电极层；和位于二极管上的第二电容，包括与二极管电连接的二级金属层、第二绝缘膜和电连接至顶电极层的三级金属层。包括双电容调平系统的MEMS元件有多种优点。背面空腔释放后悬臂梁的位置可以在晶圆接受测试期间在晶圆上确定，而不是在晶粒被分离和被封装后。可以借由算法确定要与操作电压一起包括的偏压电压，以确保操作期间的调平。因此，可以提供一致的悬臂梁位置，以防止滚降、操作电压不一致和或可能影响传感器读数的压力损失等问题。
本实用新型用于悬臂梁的双电容调平系统在权利要求书中公布了：1.一种用于悬臂梁的双电容调平系统，其特征在于，包括： 压电区，包括底电极层、在所述底电极层上的压电层以及在所述压电层上的顶电极层； 第一电容，包括所述底电极层，在所述底电极层上的第一绝缘膜以及在所述第一绝缘膜上的初级金属层，所述初级金属层电连接至所述顶电极层； 二极管，电连接至所述底电极层；以及 位于所述二极管上的第二电容，包括与所述二极管电连接的二级金属层、在所述二级金属层上的第二绝缘膜以及在所述第二绝缘膜上且电连接至所述顶电极层的三级金属层。
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