江苏新顺微电子股份有限公司蒋亚东获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏新顺微电子股份有限公司申请的专利一种半导体分离器件大束流注入机Y轴监测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223977891U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520494763.X，技术领域涉及：H01J37/244；该实用新型一种半导体分离器件大束流注入机Y轴监测装置是由蒋亚东;贾云波;龚宇科;周晓;王海东;王旭设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体分离器件大束流注入机Y轴监测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体地说，涉及一种半导体分离器件大束流注入机Y轴监测装置。该Y轴监测装置包括机架，机架处设有Y轴电机，Y轴电机具有输出轴，输出轴处设有工作台，输出轴用于驱动工作台沿Y轴方向移动，还包括设于Y轴电机处的检测组件和设于机架处的控制盒，检测组件包括设于输出轴的挡片和设于挡片上方的光电传感器，工作台处设有法拉第杯，法拉第杯用于控制离子束的通断，控制盒与光电传感器和法拉第杯电性连接。本实用新型通过在机械结构中集成光电传感器和计时反馈机制，实现对Y轴运动的实时监控，有效防止硅片过注导致损伤与报废。
本实用新型一种半导体分离器件大束流注入机Y轴监测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体分离器件大束流注入机Y轴监测装置，包括机架，机架处设有Y轴电机，Y轴电机具有输出轴，输出轴处设有工作台，输出轴用于驱动工作台沿Y轴方向移动，其特征在于，还包括设于Y轴电机处的检测组件和设于机架处的控制盒，检测组件包括设于输出轴的挡片和设于挡片上方的光电传感器，工作台处设有法拉第杯，法拉第杯用于控制离子束的通断，控制盒与光电传感器和法拉第杯电性连接。
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