青岛思锐智能科技股份有限公司耿耀锋获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利一种离子注入机用束流通道开口控制装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223977890U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520663493.0,技术领域涉及:H01J37/02;该实用新型一种离子注入机用束流通道开口控制装置是由耿耀锋;何山;李晨冉;马国宇;张丛;田龙;谢均宇;卓祖亮设计研发完成,并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入机用束流通道开口控制装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种离子注入机用束流通道开口控制装置,包括安装板,安装板的一侧设置有两组束流挡板组件,安装板的另一侧设置有驱动组件和水冷接头;每组束流挡板组件均包括束流挡板、运动水冷轴、以及进水管;运动水冷轴为内部中空结构,进水管设置在运动水冷轴内,且运动水冷轴的内壁与进水管的外侧壁之间形成有空隙;运动水冷轴的一端与束流挡板连接,另一端穿过安装板与水冷接头连接,水冷接头上设置有进水口和出水口,进水管的一端与进水口连接,另一端与束流挡板内的内部水道连通,出水口与空隙连通。本实用新型中,运动水冷轴兼备多重功能,在一根管内实现了进出水的集成功能,节省了空间,同时又具有传递运动的功能。
本实用新型一种离子注入机用束流通道开口控制装置在权利要求书中公布了:1.一种离子注入机用束流通道开口控制装置,其特征在于,包括安装在离子注入机上的安装板1,所述安装板1的一侧设置有两组束流挡板组件2,所述安装板1的另一侧设置有驱动组件6和水冷接头5; 每组所述束流挡板组件2均包括束流挡板21、运动水冷轴22、以及进水管23,两个所述束流挡板21之间的距离形成束流通道开口24;所述束流挡板21内部设置有内部水道,所述运动水冷轴22为内部中空结构,所述进水管23设置在所述运动水冷轴22内,且所述运动水冷轴22的内壁与所述进水管23的外侧壁之间形成有空隙25;所述运动水冷轴22的一端与所述束流挡板21连接,另一端穿过所述安装板1与所述水冷接头5连接,所述水冷接头5上设置有进水口51和出水口52,所述进水管23的一端与所述进水口51连接,另一端与所述束流挡板21内的内部水道连通,所述出水口52与所述空隙25连通; 所述驱动组件6与两个所述水冷接头5连接,用于驱动两个所述水冷接头5相互靠近或远离,进而通过两个所述运动水冷轴22带动两个所述束流挡板21相互靠近或远离,实现所述束流通道开口24大小的调节。
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