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广东生波尔光电技术有限公司;浙江生波智能装备有限公司高文波获国家专利权

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龙图腾网获悉广东生波尔光电技术有限公司;浙江生波智能装备有限公司申请的专利新型耐用的阳极离子源获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223977888U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423049353.9,技术领域涉及:H01J27/02;该实用新型新型耐用的阳极离子源是由高文波;徐从高;李培东设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

新型耐用的阳极离子源在说明书摘要公布了:本实用新型涉及离子源辅助镀膜技术领域,尤其是新型耐用的阳极离子源,包括基座,所述基座上设置有阳极,所述基座上设置有与所述阳极相配合的冷却结构,所述冷却结构上设置有引电部并通过引电部外接供电装置,所述基座上设置有内阴极以及外阴极,所述基座上还设有布气结构,所述布气结构外接供气装置,支撑部的外壁设置有磁钢,由于内阴极、外阴极与阳极所形成放电腔磁场磁镜比高,可以有效将电子聚集在内阴极、外阴极与阳极所构成放电腔的开端,即离子出射沟道内,进而有效降低离子对内阴极、外阴极侧壁的碰撞,减少溅射污染,使用过程中产生的粉末和削状污染物无法堆积在外阴极和阳极。

本实用新型新型耐用的阳极离子源在权利要求书中公布了:1.新型耐用的阳极离子源,包括基座1,其特征在于:所述基座1上设置有阳极2,所述基座1上设置有与所述阳极2相配合的冷却结构3,所述冷却结构3上设置有引电部4并通过引电部4外接供电装置,所述基座1上设置有内阴极5以及外阴极6,所述基座1上还设有布气结构7,所述布气结构7外接供气装置,所述基座1上设置有支撑部11,所述支撑部11设置于所述外阴极6以及基座1之间,所述支撑部11的外壁设置有磁钢8; 所述阳极2与所述内阴极5以及外阴极6之间均存有用于气体流动的间距,所述内阴极5与所述支撑部11之间形成导气通道51,所述布气结构7的输出端与所述导气通道51连通; 所述布气结构7包括连接管71以及导气管72,所述基座1上设置有与所述导气管72相配合的布气孔73; 布气结构7的布气孔73排出的气体从下向上流动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东生波尔光电技术有限公司;浙江生波智能装备有限公司,其通讯地址为:528400 广东省中山市板芙镇板芙社区工业大道1号海印科技产业园4号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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