通威太阳能(成都)有限公司廖海瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉通威太阳能(成都)有限公司申请的专利曝光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223977498U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520639754.5,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型曝光装置是由廖海瑞设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置在说明书摘要公布了:本申请涉及曝光技术领域,提供一种曝光装置,包括曝光机构、切换器和图像采集器。其中,曝光机构包括置物台,置物台用于放置待曝光件;切换器包括第一固定件、第二固定件和第一驱动部件,第一固定件和第二固定件分别设置于第一驱动部件的不同侧,第一固定件和第二固定件上分别设置有掩膜板,第一固定件上的掩膜板或第二固定件上的掩膜板位于曝光机构内,第一驱动部件用于切换所述第一固定件和所述第二固定件的位置;图像采集器用于采集位于曝光机构中的掩膜板的图像。本申请利用图像采集器对曝光机构中的掩膜板进行检测是否被粉尘污染,从而利用切换器将污染的掩膜板进行更换,提高曝光装置的运行稳定性。
本实用新型曝光装置在权利要求书中公布了:1.一种曝光装置,其特征在于,所述曝光装置包括: 曝光机构100,所述曝光机构100包括置物台110所述置物台110用于放置待曝光件; 切换器200,所述切换器200包括第一固定件210、第二固定件220和第一驱动部件230,所述第一固定件210和所述第二固定件220分别设置于所述第一驱动部件230的不同侧,所述第一固定件210和所述第二固定件220上分别设置有掩膜板,所述第一固定件210上的掩膜板或所述第二固定件220上的掩膜板位于所述曝光机构100内,所述第一驱动部件230用于切换所述第一固定件210和所述第二固定件220的位置;以及, 图像采集器300,所述图像采集器300用于采集所述曝光机构中的掩膜板的图像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人通威太阳能(成都)有限公司,其通讯地址为:610299 四川省成都市高新综合保税区双流园区综保横路一段;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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