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台湾积体电路制造股份有限公司杨明达获国家专利权

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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利环境检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223977160U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422339187.X,技术领域涉及:G01N27/26;该实用新型环境检测装置是由杨明达;林骏璿;于淳设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

环境检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种环境检测装置。在一项实施例中,所述环境检测装置包括:第一感测器件;第二感测器件,其与所述第一感测器件流体连通;及频谱分析器,其电连接到所述第一感测器件及所述第二感测器件。所述第一感测器件包含经配置以直接向流入所述第一感测器件中的气体提供第一交流电信号的一对第一电极。所述第二感测器件包含经配置以捕获流入所述第二感测器件中的所述气体中的固体的第一过滤器及经配置以在通过所述第一过滤器捕获所述固体的情况下直接向所述第一过滤器提供第二交流电信号的一对第二电极。

本实用新型环境检测装置在权利要求书中公布了:1.一种用于检测从半导体制造产生的气体的环境检测装置,其特征在于其包括: 第一感测器件,其包括经配置以直接向流入所述第一感测器件中的所述气体供应第一交流电信号的一对第一电极; 第二感测器件,其与所述第一感测器件流体连通且包括经配置以捕获流入所述第二感测器件中的所述气体中的固体的第一过滤器及经配置以在通过所述第一过滤器捕获所述固体的情况下直接向所述第一过滤器供应第二交流电信号的一对第二电极;及 频谱分析器件,其电连接到所述第一感测器件及所述第二感测器件; 其中所述气体包括酸性气体及碱性气体,且其中所述固体包括盐类固体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人台湾积体电路制造股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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