郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种用于设备腔体内部的风速监控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223966597U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520684530.6，技术领域涉及：G01P5/00；该实用新型一种用于设备腔体内部的风速监控装置是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;林明政;蒋胜利设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于设备腔体内部的风速监控装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于设备腔体内部的风速监控装置，其中腔体由腔体外壳和底座形成，所述腔体外壳上设有用于向腔体内部送入洁净空气的送风口；所述风速监控装置包括风速计和控制器；所述风速计带有量测头的一端设于所述腔体内部，且对准所述送风口设置，用于检测所述洁净空气送入风速；所述控制器与所述风速计电连接，用于接收所述风速计检测的风速值信息，并判断所述风速值是否在预设范围内，当超出预设范围时，发送报警指令。本申请通过在腔体内部新增一种风速监控装置，从而使腔体内部风速出现异常时及时进行报警提示，同时停止量测；可以有效提高产品的良率及设备的自动化程度。
本实用新型一种用于设备腔体内部的风速监控装置在权利要求书中公布了：1.一种用于设备腔体内部的风速监控装置，其中腔体由腔体外壳和底座形成，所述腔体外壳上设有用于向腔体内部送入洁净空气的送风口；其特征在于，所述风速监控装置包括风速计和控制器； 所述风速计带有量测头的一端设于所述腔体内部，且对准所述送风口设置，用于检测所述洁净空气送入风速； 所述控制器与所述风速计电连接，用于接收所述风速计检测的风速值信息，并判断所述风速值是否在预设范围内，当超出预设范围时，发送报警指令。
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