优赛米半导体科技(无锡)有限公司顾辛酉获国家专利权
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龙图腾网获悉优赛米半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种具有预警机构的半导体工艺腔真空检测仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223966197U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520747438.X，技术领域涉及：G01L21/00；该实用新型一种具有预警机构的半导体工艺腔真空检测仪是由顾辛酉设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有预警机构的半导体工艺腔真空检测仪在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体工艺腔真空检测仪技术领域，公开了一种具有预警机构的半导体工艺腔真空检测仪，包括真空检测仪表、检测探针，所述真空检测仪表的顶部固定有安装座，夹块与侧夹板之间固定有用于连接的安装螺栓，所述夹块中形成有弧形槽，弧形槽上固定有防护垫。本实用新型通过把安装座固定在真空检测仪表的顶部位置，且在安装座内开设了内螺纹槽，因此在工作时可以旋转的方式把螺纹柱与内螺纹槽螺纹连接，且装配后由限位板形成位置限位，把警示灯固定在限位板的顶部位置，因此在利用检测探针进行检测时，当产生漏气现象时，可由警示灯报警预警，方便工作人员及时得知警示信息，以此在工作的过程中较好的提高了整体的预警能力。
本实用新型一种具有预警机构的半导体工艺腔真空检测仪在权利要求书中公布了：1.一种具有预警机构的半导体工艺腔真空检测仪，包括真空检测仪表1、检测探针17，其特征在于：所述真空检测仪表1的顶部固定有安装座9，所述安装座9内开设有内螺纹槽，内螺纹槽处连接有螺纹柱8，所述螺纹柱8的顶部固定有用于限位的限位板11，所述限位板11的顶部安装有警示灯2，所述警示灯2的侧边配备有用于更换电池的更换槽10，所述真空检测仪表1的底部安装有连接块3，所述连接块3的底部固定有连接杆4，所述连接杆4的两侧位置安装有第一伸缩杆7，第一伸缩杆7的伸缩端连接有侧夹板6，所述侧夹板6的侧边固定有夹块5，夹块5与侧夹板6之间固定有用于连接的安装螺栓12，所述夹块5中形成有弧形槽13，弧形槽13上固定有防护垫14。
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