和舰芯片制造(苏州)股份有限公司严立华获国家专利权
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龙图腾网获悉和舰芯片制造(苏州)股份有限公司申请的专利一种传输通气管路的保护装置及物理气相沉积机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223964979U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520047425.1，技术领域涉及：F16K27/04；该实用新型一种传输通气管路的保护装置及物理气相沉积机台是由严立华设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传输通气管路的保护装置及物理气相沉积机台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种传输通气管路的保护装置及物理气相沉积机台，该保护装置包括：保护壳体，所述保护壳体内具有容纳空间，所述保护壳体顶部设置为可踩踏面；第一固定部，所述第一固定部设置于所述保护壳体的侧部，所述第一固定部具有平行于所述闸阀平台的延伸部和垂直于所述延伸部的钩折部，所述钩折部卡套于所述闸阀平台侧部；第二固定部，所述第二固定部设置于所述保护壳体的底部，所述第二固定部呈L型，所述第二固定部可拆卸地固定于所述闸阀平台。将低温闸阀和通气管路都容纳在保护装置的下方，提供较大的踩踏平面，一方面保护管路，另一方面避免踩踏时的断裂问题。
本实用新型一种传输通气管路的保护装置及物理气相沉积机台在权利要求书中公布了：1.一种传输通气管路的保护装置，其特征在于，所述保护装置设置于闸阀平台上方并包括： 保护壳体，所述保护壳体内具有容纳空间，所述保护壳体顶部设置为可踩踏面； 第一固定部，所述第一固定部设置于所述保护壳体的侧部，所述第一固定部具有平行于所述闸阀平台的延伸部和垂直于所述延伸部的钩折部，所述钩折部卡套于所述闸阀平台侧部； 第二固定部，所述第二固定部设置于所述保护壳体的底部，所述第二固定部呈L型，所述第二固定部可拆卸地固定于所述闸阀平台。
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