清远先导材料有限公司张宏获国家专利权
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龙图腾网获悉清远先导材料有限公司申请的专利一种用于液相外延方法生长单晶薄膜的夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223963601U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423278260.3,技术领域涉及:C30B19/06;该实用新型一种用于液相外延方法生长单晶薄膜的夹具是由张宏;请求不公布姓名;请求不公布姓名;杨锋豪;朱金洲设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于液相外延方法生长单晶薄膜的夹具在说明书摘要公布了:本申请公开了一种用于液相外延方法生长单晶薄膜的夹具,涉及液相外延技术领域,包括主夹具以及副夹具;主夹具包括至少上框架、下框架、两个固定爪以及一个配合爪;两个固定爪与一个配合爪固定在上框架与下框架之间,且圆周间隔分布;两个固定爪与一个配合爪之间围成固定外延衬底的固定腔;配合爪包括连接上框架的上爪臂以及连接下框架的下爪臂;上爪臂与下爪臂之间间隔设置以形成断开口,用于供外延衬底插入固定腔中;副夹具用于在外延衬底插入固定腔后,封堵断开口;固定爪内侧面设有供外延衬底边缘卡入的第一卡槽。上述设计无需掰动固定爪,既能提高衬底片生长的稳定性,又能避免对夹具产生不必要的损坏,延长夹具的使用寿命。
本实用新型一种用于液相外延方法生长单晶薄膜的夹具在权利要求书中公布了:1.一种用于液相外延方法生长单晶薄膜的夹具,其特征在于,包括主夹具10以及副夹具5; 所述主夹具10包括至少上框架1、下框架2、两个固定爪3以及一个配合爪4; 所述上框平行设置于所述下框上方,且其中心线与所述下框架2的中心线重合; 两个所述固定爪3与一个所述配合爪4固定在所述上框架1与所述下框架2之间,且圆周间隔分布; 两个所述固定爪3与一个所述配合爪4之间围成固定外延衬底的固定腔; 所述配合爪4包括连接上框架1的上爪臂41以及连接下框架2的下爪臂42; 所述上爪臂41与所述下爪臂42之间间隔设置以形成断开口43,用于供外延衬底插入所述固定腔中; 所述副夹具5用于在所述外延衬底插入所述固定腔后,封堵所述断开口43; 所述固定爪3内侧面设有供外延衬底边缘卡入的第一卡槽31。
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