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龙门实验室武航进获国家专利权

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龙图腾网获悉龙门实验室申请的专利一种直拉单晶硅加热用防鼓包坩埚获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223963600U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520474612.8,技术领域涉及:C30B15/10;该实用新型一种直拉单晶硅加热用防鼓包坩埚是由武航进;贾红;崔彩霞;贾倩琳;王新昌设计研发完成,并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种直拉单晶硅加热用防鼓包坩埚在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种直拉单晶硅加热用防鼓包坩埚,该坩埚包括碳碳埚体以及叠置于碳碳埚体内的石英埚体,石英埚体通过定位结构与碳碳埚体连接。碳碳埚体包括保温筒和圆形底部,保温筒的内壁上设有若干圈横向导气槽和2n条竖向导气槽,圆形底部内壁上设有若干圈环形导气槽和n条径向导气槽,径向导气槽的两端分别与对应的竖向导气槽相连通,环形导气槽和径向导气槽内设有沿轴向贯通圆形底部的透气孔。定位结构包括设于石英埚体顶面上的定位环,定位环上均布有若干定位孔,保温筒的顶面上设有与定位孔配合的定位柱。该坩埚能够有效降低石英埚体出现鼓包的几率,进而能够辅助提高直拉单晶硅产品的品质,也能够提高产品生产过程中的安全性。

本实用新型一种直拉单晶硅加热用防鼓包坩埚在权利要求书中公布了:1.一种直拉单晶硅加热用防鼓包坩埚,其特征在于,包括: 碳碳埚体1,碳碳埚体1包括具有上下端开口的保温筒101、以及用于密封保温筒101下端开口的圆形底部102,所述保温筒101的内壁上设有若干圈在轴向上依次排列的横向导气槽4和2n个在周向方向上依次排列的竖向导气槽3,所述横向导气槽4在周向上沿保温筒101的内壁进行延伸,竖向导气槽3在轴向上沿保温筒101的内壁进行延伸,各个横向导气槽4均与所有的竖向导气槽3相连通;所述圆形底部102内壁上设有若干圈同心圆设置的环形导气槽8和n条经过圆心的径向导气槽9,所述径向导气槽9的两端分别与对应的竖向导气槽3相连通,所述环形导气槽8和径向导气槽9内设有沿轴向贯通圆形底部102的透气孔7; 石英埚体2,叠置于碳碳埚体1内; 定位结构,用于使石英埚体2与碳碳埚体1活动连接,所述定位结构包括设于石英埚体2顶面上的定位环5,所述定位环5上均匀分布有若干定位孔,所述保温筒101的顶面上设有与定位孔配合的定位柱6。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人龙门实验室,其通讯地址为:471023 河南省洛阳市伊滨区科技大道1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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