创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利光罩翻转装置及清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223962843U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520504910.7，技术领域涉及：B65G47/90；该实用新型光罩翻转装置及清洗设备是由左国军;蔡嘉雄;孙伟;邱开宇设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩翻转装置及清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体生产设备制造技术领域，具体涉及光罩翻转装置及清洗设备。本装置包括：两滑轨，其相对设置，且滑轨上滑动设置有滑动座；所述滑动座上安装有旋转气缸，旋转气缸的活动端安装有翻转夹具；其中，所述翻转夹具呈U形，且翻转夹具的开口端两侧分别具有夹持斜面；以及，滑动座沿滑轨滑动，以带动向翻转夹具靠近或者远离，以使翻转夹具通过V型槽夹持光罩的对角边；所述旋转气缸驱动光罩翻转至水平或者竖直。通过设置U形的翻转夹具，并在翻转夹具的开口设置夹持斜面，以夹持光罩的对角边，并适应不同大小的光罩。通过设置滑动座以使翻转夹具能够水平运送光罩。
本实用新型光罩翻转装置及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种光罩翻转装置，其特征在于，包括： 两滑轨1，其相对设置，且滑轨1上滑动设置有滑动座11； 所述滑动座11上安装有旋转气缸12，旋转气缸12的活动端安装有翻转夹具2； 其中，所述翻转夹具2呈U形，且翻转夹具2的开口端两侧分别具有夹持斜面21； 以及，滑动座11沿滑轨1滑动，以带动向翻转夹具2靠近或者远离，以使翻转夹具2通过夹持斜面21夹持光罩9的对角边； 所述旋转气缸12驱动光罩9翻转至水平或者竖直。
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