江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司梁德富获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司申请的专利用于半导体设备的垂直移动装置和半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223962840U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520454307.2,技术领域涉及:B65G47/90;该实用新型用于半导体设备的垂直移动装置和半导体设备是由梁德富;林佳继设计研发完成,并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体设备的垂直移动装置和半导体设备在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体技术领域,具体涉及一种用于半导体设备的垂直移动装置和半导体设备,解决了垂直移动装置对自身上下移动的控制准确性较低的问题。该装置包括传动组件、驱动源组件、磁栅尺和控制组件。驱动源组件与传动组件连接,能够驱动传动组件和物料沿竖直方向移动。驱动源组件设置输出轴和编码器,编码器能够采集输出轴的转动信息,转动信息能够被转换为物料的第一位置数据。磁栅尺与传动组件连接,能够在物料沿竖直方向移动时,采集物料的第二位置数据。控制组件分别与编码器和磁栅尺通信连接,能够基于两个位置数据的差值,控制驱动源组件运行或停止。该装置利用编码器和磁栅尺对自身的上下移动进行检测和控制,提高了控制准确性。
本实用新型用于半导体设备的垂直移动装置和半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体设备的垂直移动装置,其特征在于,包括: 传动组件,被配置为带动物料沿第一方向移动,所述第一方向为竖直方向; 驱动源组件,与所述传动组件连接,被配置为驱动所述传动组件沿所述第一方向移动,所述驱动源组件中设置有输出轴和与所述输出轴连接的编码器,所述编码器被配置为采集所述驱动源组件的参数信息,所述参数信息至少包括所述输出轴的转动信息,且所述转动信息能够被转换为所述物料的第一位置数据; 磁栅尺,与所述传动组件连接,被配置为在所述传动组件带动所述物料沿所述第一方向移动时,采集所述物料在所述第一方向上的第二位置数据; 控制组件,分别与所述编码器和所述磁栅尺通信连接,被配置为基于所述第一位置数据与所述第二位置数据的差值,控制所述驱动源组件运行或停止。
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