北京京仪自动化装备技术股份有限公司吕维迪获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种晶圆位置映射传感器、机械手和晶圆装载端口获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223961312U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423286933.X，技术领域涉及：B25J19/00；该实用新型一种晶圆位置映射传感器、机械手和晶圆装载端口是由吕维迪;毛焕;赵佳强设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆位置映射传感器、机械手和晶圆装载端口在说明书摘要公布了：一种晶圆位置映射传感器，包括传感器本体、发射装置、接收装置、放大装置、第一导线和第二导线；传感器本体与机械手或晶圆装载端口连接，发射装置和接收装置设置在传感器本体；放大装置设置在传感器本体内，发射装置和接收装置与放大装置电性连接，放大装置用于放大接收装置接收到的发射信号，放大装置通过第二导线与外部电源电性连接。通过将发射装置、接收装置和放大装置集成在一个传感器本体内部，发射装置和接收装置分别设置在传感器本体内部的两侧，发射装置和接收装置分别通过第一导线实现连接，放大装置通过第二导线与外界电源实现连接，大部分的电线集成在传感器本体内部，减小了电线所占用的空间。
本实用新型一种晶圆位置映射传感器、机械手和晶圆装载端口在权利要求书中公布了：1.一种晶圆位置映射传感器，其特征在于，安装在机械手或晶圆装载端口上且用于检测晶圆输送时的位置，所述传感器包括传感器本体、发射装置、接收装置、放大装置、第一导线和第二导线；所述传感器本体与所述机械手或所述晶圆装载端口连接，所述发射装置和所述接收装置分别相对设置在所述传感器本体内部的两侧，且所述发射装置用于朝向夹持在所述机械手或所述晶圆装载端的所述晶圆的侧面发出发射信号，所述接收装置用于接收所述发射信号；所述放大装置设置在所述传感器本体的内部，所述发射装置和所述接收装置分别通过所述第一导线与所述放大装置电性连接，所述放大装置用于放大、接收所述接收装置接收到的所述发射信号，所述放大装置通过所述第二导线与外部电源电性连接。
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