广东先导微电子科技有限公司崔国维获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种抛光机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223961091U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520428025.5,技术领域涉及:B24B29/02;该实用新型一种抛光机是由崔国维;张文锋;梁波奇;周铁军设计研发完成,并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种抛光机,包括机体、抛光部、陶瓷盘、驱动件以及冲洗结构,所述抛光部、所述陶瓷盘以及所述驱动件安装于所述机体,所述抛光部朝向所述陶瓷盘设置,所述驱动件与所述冲洗结构连接,以驱动所述冲洗结构移动至所述陶瓷盘下方;所述冲洗结构包括支架以及喷头组件,所述支架具有安装槽,多个所述喷头组件沿所述安装槽的延伸方向间隔设置,且所述喷头组件与所述安装槽为活动连接。本实用新型通过使喷头组件能够在安装槽内灵活移动,可以根据实际需要调整喷头的位置,确保冲洗液可以覆盖到每一片晶片的中心位置,克服了传统固定长度冲水管无法有效冲洗的问题,提高了冲洗效率和均匀性,减少了因冲洗不彻底而导致的产品不良率。
本实用新型一种抛光机在权利要求书中公布了:1.一种抛光机,其特征在于,包括机体、抛光部、陶瓷盘、驱动件以及冲洗结构,所述抛光部、所述陶瓷盘以及所述驱动件安装于所述机体,所述抛光部朝向所述陶瓷盘设置,所述驱动件与所述冲洗结构连接,以驱动所述冲洗结构移动至所述陶瓷盘下方;所述冲洗结构包括支架以及喷头组件,所述支架具有安装槽,多个所述喷头组件沿所述安装槽的延伸方向间隔设置,且所述喷头组件与所述安装槽为活动连接。
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