买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉正阳融合微电子技术(珠海)有限公司申请的专利一种多介质切换的半导体喷淋设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121443042B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512040204.9，技术领域涉及：H10P95/00；该发明授权一种多介质切换的半导体喷淋设备是由彭勇;李生辉设计研发完成，并于2025-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多介质切换的半导体喷淋设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种多介质切换的半导体喷淋设备，包括密封机体，所述密封机体的中部设置有预载安装板，所述预载安装板将所述密封机体分隔为位于上部的入料层和位于下部的喷淋层，所述预载安装板的外侧设置有入料移栽机构，所述预载安装板上设置有旋转对中对位机构，所述喷淋层内对应所述旋转对中对位机构设置有多介质切换喷淋装置，所述多介质切换喷淋装置包括升降旋转治具及清洁机构、外罩于所述升降旋转治具及清洁机构外部的喷淋腔体、均匀分布于所述喷淋腔体四周的若干气液喷淋模块、间隔设置于每两个所述气液喷淋模块之间的工艺化学液喷淋机构以及升降套设于所述喷淋腔体内的洁净空气导入机构。本发明涉及半导体喷淋设备技术领域。

本发明授权一种多介质切换的半导体喷淋设备在权利要求书中公布了：1.一种多介质切换的半导体喷淋设备，包括密封机体1，其特征在于：所述密封机体1的中部设置有预载安装板14，所述预载安装板14将所述密封机体1分隔为位于上部的入料层11和位于下部的喷淋层12，所述预载安装板14的外侧设置有入料移栽机构2，所述预载安装板14上设置有旋转对中对位机构3，所述喷淋层12内对应所述旋转对中对位机构3设置有多介质切换喷淋装置4，所述多介质切换喷淋装置4包括升降旋转治具及清洁机构41、外罩于所述升降旋转治具及清洁机构41外部的喷淋腔体42、均匀分布于所述喷淋腔体42四周的若干气液喷淋模块43、间隔设置于每两个所述气液喷淋模块43之间的工艺化学液喷淋机构44以及升降套设于所述喷淋腔体42内的洁净空气导入机构45； 所述喷淋腔体42包括位于上部的气液导入腔421和位于下部的喷淋腔422，所述气液导入腔421的四周均匀嵌入设置有若干所述气液喷淋模块43，所述气液喷淋模块43与外部气液源通过气液软管相连接，所述气液导入腔421上每两个所述气液喷淋模块43之间设置有沿垂直方向扩展的工艺化学液管路伸入口4211，每个所述工艺化学液喷淋机构44对应一个所述工艺化学液管路伸入口4211。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人正阳融合微电子技术(珠海)有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市高新区鼎业路81号3栋101、201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。