深圳市比洋光通信科技股份有限公司汤岳云获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市比洋光通信科技股份有限公司申请的专利用于控制MEMS微镜阵列的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121386181B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511974054.2，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权用于控制MEMS微镜阵列的系统及方法是由汤岳云;陈曲;毕鹏军;曾海;汤榕煊设计研发完成，并于2025-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于控制MEMS微镜阵列的系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微机电系统控制技术领域，公开了用于控制MEMS微镜阵列的系统及方法。该方法包括通过建立包含能量流分析域和机械响应域的时空特性评估模型，同步采集系统的馈入与负载能量波形特征，并并行获取每个微镜的驱动机构应力分布数据和反射面实时姿态数据。将这些数据融合生成多维特征向量，再与预设稳定性边界条件进行比较，从而输出针对性调控策略。该方法实现了从能量传递效率到机械结构内部应力的多维度状态感知，克服了传统方法仅依赖运动反馈的滞后性，能提前识别性能劣化趋势与潜在机械损伤，使控制系统从被动纠错转向主动预警与健康管理，提升了微镜阵列的工作稳定性、适应性及器件使用寿命。
本发明授权用于控制MEMS微镜阵列的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种调控MEMS微镜阵列的方法，其特征在于，所述方法包括： 建立针对所述MEMS微镜阵列的时空特性评估模型，该模型包含能量流分析域和机械响应域； 在所述能量流分析域中，同步采集所述MEMS微镜阵列的馈入能量波形特征与负载能量波形特征； 在所述机械响应域中，并行获取所述MEMS微镜阵列中每个微镜驱动机构的应力分布数据和每个微镜反射面的实时姿态数据； 将所述馈入能量波形特征、所述负载能量波形特征、所述应力分布数据及所述实时姿态数据输入至所述时空特性评估模型，生成多维特征向量； 基于所述多维特征向量与预设的稳定性边界条件进行比较，输出所述MEMS微镜阵列的调控策略。
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