买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉盛吉盛精密装备(上海)有限公司申请的专利一种用于晶圆缺陷检测机台光学组件的调试装置及调试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121384815B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511963848.9，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种用于晶圆缺陷检测机台光学组件的调试装置及调试方法是由史庆飞;许志彬设计研发完成，并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆缺陷检测机台光学组件的调试装置及调试方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆缺陷检测机台光学组件的调试装置及调试方法。调试装置包括平台主体、定位基准组件、吸盘、高度调节组件、安装支架和辅助调试接口。平台主体由天然大理石材料制成，其上表面构成光学组件的安装基准平面；定位基准组件设置于平台主体上表面，按照缺陷检测机台光学组件的实际安装坐标加工有定位销孔；吸盘布置于平台主体上方用于承载调试用晶圆；高度调节组件安装于吸盘底部；安装支架通过紧固件与平台主体上的螺纹孔配合；辅助调试接口设置于平台主体侧面。本发明通过独立于整机的调试环境，实现了光学组件的离线调试，使光学调试与运动平台组装可并行进行，显著缩短了设备组装周期，同时提高了调试精度和安全性。

本发明授权一种用于晶圆缺陷检测机台光学组件的调试装置及调试方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆缺陷检测机台光学组件的调试装置，其特征在于，包括： 平台主体，由天然大理石材料制成，其外形尺寸与缺陷检测机台内部光学组件安装区域的实际尺寸相匹配，上表面经过精密研磨处理，构成光学组件的安装基准平面； 定位基准组件，设置于平台主体上表面，按照缺陷检测机台光学组件的实际安装坐标加工有定位销孔，定位销孔用于容纳定位销以实现光学组件的精确定位； 吸盘，布置于平台主体上方，用于承载调试用晶圆； 高度调节组件，安装于吸盘底部，包括直线电机，用于调节吸盘的高度位置以适应不同光学组件对成像距离的要求； 安装支架，通过紧固件与平台主体上设置的螺纹孔配合，用于将光学组件固定于平台主体上，并使光学组件的安装位置及角度与缺陷检测机台的实际安装状态保持一致； 辅助调试接口，设置于平台主体侧面，包含电源接口和数据传输接口，用于连接光学组件的控制模块与外部调试设备，以实现调试过程中光学参数的实时监测和调整； 光学组件，包括图像传感器、镜头模组和光源模组，用于在调试过程中对晶圆缺陷进行模拟成像检测，通过模拟晶圆缺陷检测机台的光学安装环境，使光学组件调试工作可提前至运动平台组装阶段同步开展； 光学组件通过连接板与安装支架相连，连接板上开设长孔，使得光学组件的位置能够进行微调，当发现光学组件存在兼容性问题时，可直接进行安装支架更换或安装位置调整，无需对已组装完成的运动平台进行拆解； 调试工作在独立于运动平台的稳定环境中进行，避免了对精密运动平台可能造成的干扰或损伤。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛吉盛精密装备(上海)有限公司，其通讯地址为：201304 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区丽正路1628号4幢1-2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。