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龙图腾网获悉西安唐晶量子科技有限公司申请的专利一种基于图像处理的VCSEL生长过程实时监测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121236072B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511793447.3，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于图像处理的VCSEL生长过程实时监测方法是由刘邦;龚平;夏天文;王元;杨宇博;韩洋佳设计研发完成，并于2025-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于图像处理的VCSEL生长过程实时监测方法在说明书摘要公布了：本发明属于图像处理技术领域，具体涉及一种基于图像处理的VCSEL生长过程实时监测方法，其方法包括：采集初始参考图像及各时刻的生长图像；对各时刻：计算沉积速率和累积突变性；通过数字散斑相关法获取增量位移场与相关性系数；基于增量位移场与当前轮次的锚点位移场，确定累积位移场；响应于累积突变性大于或等于累积突变性阈值，将该时刻的累积位移场作为新的锚点位移场，将该时刻的生长图像作为新的参考图像；重复迭代，获取全生长周期的累积位移场并计算累积应力。本发明显著提高了累积应力计算的准确性。

本发明授权一种基于图像处理的VCSEL生长过程实时监测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于图像处理的VCSEL生长过程实时监测方法，其特征在于，包括：采集生长过程中的初始参考图像及各时刻的生长图像； 计算各时刻相对前一时刻的生长图像的平均灰度的变化速率，作为沉积速率；对各时刻之前的所有历史时刻的沉积速率进行多项式拟合，得到沉积速率曲线；计算沉积速率曲线从初始时刻到各时刻的时间积分，作为累积突变性； 通过数字散斑相关法，获取各时刻的生长图像相对当前轮次的参考图像的相关性系数及增量位移场；计算各时刻的增量位移场与当前轮次的锚点位移场之和，作为各时刻的累积位移场；设置初始的锚点位移场为零向量； 响应于累积突变性大于或等于累积突变性阈值，将该时刻的累积位移场作为新的锚点位移场，将该时刻的生长图像作为新的参考图像；重复迭代，直至得到全生长周期的累积位移场；提取全生长周期的累积位移场的垂直分量进行二次曲面拟合，确定曲率；并结合斯托尼公式计算累积应力，响应于所述累积应力大于生长的最大应力，进行预警； 所述累积突变性满足表达式：；式中，为第个时刻的累积突变性；为第个时刻的沉积速率曲线；为初始时刻和第个时刻的时间戳；为时间微分；为积分符号； 所述累积突变性阈值获取方式：执行一次完整VCSEL生长测试，将生长测试中初始时刻的生长图像作为参考图像，计算所有时刻的生长图像相对参考图像的相关性系数，遍历计算各时刻与前一时刻的所述相关性系数的差值，将差值首次小于0的时刻对应累积突变性作为累积突变阈值； 所述结合斯托尼公式计算累积应力，包括：将工艺参数以及基底生长的曲率半径代入斯托尼公式计算累积应力，其中，工艺参数包含基底材料的杨氏模量、基底的泊松比、基底的厚度以及薄膜的厚度；基底生长的曲率半径等于曲面在和方向的曲率的平均值的倒数。

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