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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利半导体工业废气处理方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121222235B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511785798.X，技术领域涉及：B01D53/32；该发明授权半导体工业废气处理方法及系统是由于贺杰;曹小康;张坤;席涛涛;蔡传涛;宁腾飞;杨琪设计研发完成，并于2025-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工业废气处理方法及系统在说明书摘要公布了：本申请涉及废气处理技术领域，提供一种半导体工业废气处理方法及系统。所述方法包括：控制脱氧反应单元对半导体工业废气进行脱氧处理；控制气体浓度检测单元对脱氧后的废气进行氧气浓度检测；在氧气浓度小于第一浓度阈值的情况下，控制等离子反应器对脱氧废气进行等离子处理；对脱氧反应单元中脱氧剂的剩余使用寿命进行预测，在剩余使用寿命小于寿命阈值的情况下，对脱氧剂进行更换或再生。本申请利用前置脱氧，从源头抑制氮氧化物生成，利用脱氧剂剩余使用寿命预测，及时更换或再生脱氧剂，具备可持续性、不会影响半导体高精度设备的运转和产品的良率，且无需考虑对氮氧化物进行催化分解的效率以及高热分解的能耗。

本发明授权半导体工业废气处理方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体工业废气处理方法，其特征在于，包括： 控制脱氧反应单元对半导体工业废气进行脱氧处理，得到脱氧废气； 控制气体浓度检测单元对所述脱氧废气进行检测，得到氧气浓度； 在所述氧气浓度小于第一浓度阈值的情况下，控制等离子反应器对所述脱氧废气进行等离子处理，得到处理后的废气； 对所述脱氧反应单元中脱氧剂的剩余使用寿命进行预测，包括： 获取所述脱氧反应单元中脱氧剂的装填氧容量、所述脱氧废气的实时流量和所述脱氧废气的实时氧气浓度； 基于所述实时流量与所述实时氧气浓度的乘积，得到所述脱氧废气的实时含氧量； 对所述实时含氧量的减少量进行积分计算，得到所述脱氧废气的累积脱氧量； 基于所述装填氧容量与所述累积脱氧量的差值，得到所述脱氧剂的理论剩余氧容量； 基于所述理论剩余氧容量与实际剩余氧容量之间的差值，对所述脱氧剂的剩余使用寿命进行预测； 在所述剩余使用寿命小于寿命阈值的情况下，对所述脱氧剂进行更换或再生，返回控制脱氧反应单元对半导体工业废气进行脱氧处理，得到脱氧废气的步骤，直至再次得到处理后的废气。

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