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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种化学机械抛光用嵌套式双频超声复合振子获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121199775B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511745970.9，技术领域涉及：B24B1/04；该发明授权一种化学机械抛光用嵌套式双频超声复合振子是由叶林征;李晓波;祝锡晶;啜世达;刘培德;王润宇设计研发完成，并于2025-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学机械抛光用嵌套式双频超声复合振子在说明书摘要公布了：本发明涉及化学机械抛光技术领域，具体是一种化学机械抛光用嵌套式双频超声复合振子，其包括保持套，保持套内同轴安装有低频超声波振子，低频超声波振子的振动面安装有载物盘，保持套的外侧面固定装配有法兰盘，法兰盘的下表面安装有连接座，连接座的下表面固定有连接板，连接板的下表面同轴固定有端盖，端盖的下表面同轴延伸设置有凸环A和凸环B，端盖的下方设置有高频超声波振板，高频超声波振板的上表面同轴延伸设置有凸环C和凸环D，凸环D的外侧面与凸环B的内侧面相互配合，高频超声波振板的上表面固定有高频压电陶瓷片。其解决了现有化学机械抛光技术抛光速度较慢、抛光后表面质量较差的问题，适用于半导体制造、光学器件加工等领域。

本发明授权一种化学机械抛光用嵌套式双频超声复合振子在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光用嵌套式双频超声复合振子，其特征在于：包括呈筒形结构的保持套1；保持套1内同轴安装有振动面向下的低频超声波振子2；低频超声波振子2的振动面安装有载物盘3； 保持套1的外侧面固定装配有法兰盘4；法兰盘4的下表面安装有连接座5；连接座5的下表面固定有呈环形结构的连接板6，且连接板6同轴环绕保持套1；连接板6的下表面同轴固定有呈环形结构的端盖7；端盖7的下表面同轴延伸设置有凸环A7.1和凸环B7.2，且凸环B7.2位于凸环A7.1的外侧； 端盖7的下方设置有呈环形结构的高频超声波振板8；高频超声波振板8的上表面同轴延伸设置有凸环C8.1和凸环D8.2，且凸环D8.2位于凸环C8.1的外侧；凸环C8.1的内侧面与外侧面之间贯通开设有穿线孔8.3；凸环C8.1的上表面与凸环A7.1的下表面相互对接；凸环D8.2的外侧面与凸环B7.2的内侧面相互配合；高频超声波振板8的上表面固定有高频压电陶瓷片9，且高频压电陶瓷片9位于凸环C8.1和凸环D8.2之间； 工作时，化学机械抛光机的抛光垫上表面涂抹有抛光液；保持套1偏心放置于抛光垫的上表面，且保持套1可转动地夹设于化学机械抛光机的夹具内；载物盘3的下表面粘附有工件，且工件与抛光垫的上表面接触；化学机械抛光机的旁侧设置有低频超声波发生器和高频超声波发生器；低频超声波振子2与低频超声波发生器电连接；高频压电陶瓷片9与高频超声波发生器电连接； 具体工作过程如下：首先，启动化学机械抛光机，使得抛光垫进行转动；基于保持套1与抛光垫之间的摩擦力，抛光垫带动保持套1在夹具内进行转动，保持套1带动低频超声波振子2、载物盘3、工件、法兰盘4、连接座5、连接板6、端盖7、高频超声波振板8、高频压电陶瓷片9一起进行转动，由此使得工件与抛光垫进行摩擦；然后，启动低频超声波发生器和高频超声波发生器；低频超声波发生器将市电转换为超声频交变电流信号，并将超声频交变电流信号传输至低频超声波振子2，低频超声波振子2将超声频交变电流信号转换为低频超声振动，由此使得该复合振子及工件一起进行低频超声振动；高频超声波发生器将市电转换为超声频交变电流信号，并将超声频交变电流信号传输至高频压电陶瓷片9，高频压电陶瓷片9将超声频交变电流信号转换为高频超声振动，由此使得该复合振子及工件一起进行高频超声振动； 基于工件与抛光垫之间的摩擦力，并配合抛光液，即实现了工件的化学机械抛光；在抛光过程中，高频超声振动诱导抛光液产生声流效应，低频超声振动诱导抛光液产生剧烈空化效应。

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