智慧星空(上海)工程技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司申请的专利快门装置、快门控制系统及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121165409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511666336.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权快门装置、快门控制系统及光刻设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本快门装置、快门控制系统及光刻设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种快门装置、快门控制系统及光刻设备，属于半导体设备领域。本申请的快门装置包括：驱动单元，包括定子组件和动子组件，定子组件包括定子轭和磁铁阵列，磁铁阵列中的多个磁铁沿周向分布于定子轭且周向相邻的磁铁彼此紧贴，动子组件包括具有对称结构的线圈固定架和由其支承的线圈组，线圈固定架中第一横梁和第二横梁之间的夹角呈钝角；遮光单元包括叶片；连接单元连接驱动单元与遮光单元；驱动单元驱动遮光单元进行往复运动，以通断光路。本申请中，定子组件提升驱动单元的输出力矩，实现叶片的快速开闭；动子组件为叶片旋转提供更大的机械避让空间，实现叶片大角度开闭，增大快门装置的通光孔径，减少单次曝光耗时，提高光刻产率。
本发明授权快门装置、快门控制系统及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种快门装置，其特征在于，包括： 驱动单元，包括定子组件和动子组件，所述定子组件包括定子轭和磁铁阵列，所述磁铁阵列中的多个磁铁沿周向分布于所述定子轭且周向相邻的所述磁铁彼此紧贴，所述动子组件包括具有对称结构的线圈固定架和由其支承的线圈组，所述线圈固定架中的第一横梁和第二横梁之间的夹角呈钝角； 遮光单元，包括叶片； 连接单元，连接所述驱动单元与所述遮光单元； 所述驱动单元用于驱动所述遮光单元进行往复运动，以通断光路； 所述叶片位于所述第一横梁和所述第二横梁之间； 所述叶片沿第三方向延伸的中心轴线与所述第一横梁的夹角小于所述中心轴线与所述第二横梁的夹角。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人智慧星空(上海)工程技术有限公司，其通讯地址为：201315 上海市浦东新区叠桥路128号8幢4层407室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励