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镭神泰克科技(苏州)有限公司黄刚获国家专利权

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龙图腾网获悉镭神泰克科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆精密打标设备用定位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121149079B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511372186.8,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权一种晶圆精密打标设备用定位装置是由黄刚;周虎;张来克设计研发完成,并于2025-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆精密打标设备用定位装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆精密打标设备用定位装置,涉及晶圆加工生产技术领域,该晶圆精密打标设备用定位装置,包括底座框,底座框的顶部固定连接有固定框,固定框的内部开设有吸力槽,底座框的内部设置有调节晶圆位置的主体圆板与圆形框,固定框的内部设置有推动晶圆位于打标位置的主体卡杆与抵位板,固定框的内部设置有为主体卡杆提供动力的一号卡块,定位完成的加工晶圆停留在橡胶吸盘的上表面时,对加工晶圆边缘进行下压,从而使由于翘曲导致无法与橡胶吸盘贴合的加工晶圆边缘与橡胶面相接触,此时通过吸气机构通过吸力槽将橡胶吸盘内部的气体抽走,从而使加工晶圆各个位置稳定的贴合在各个橡胶吸盘表面。

本发明授权一种晶圆精密打标设备用定位装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆精密打标设备用定位装置,包括底座框1,所述底座框1的顶部固定连接有固定框11,所述固定框11的内部开设有吸力槽12,其特征在于:所述底座框1的内部设置有调节晶圆位置的主体圆板21,所述主体圆板21的上端呈环形阵列设置有多个圆形框24,所述固定框11的内部设置有推动晶圆位于打标位置的主体卡杆41与抵位板410,所述固定框11的内部设置有根据晶圆在固定框11顶部位置的不同为主体卡杆41提供动力的一号卡块31与圆头滑轴46,所述固定框11的内部设置有按压晶圆顶部使晶圆与吸盘表面更加贴合的摆动块62与下压板67; 所述底座框1的内部开设有主体槽2,所述主体圆板21滑动连接于主体槽2的内部,所述固定框11的内部呈环形阵列开设有多个顶升槽22,所述圆形框24滑动连接于顶升槽22的内部,所述圆形框24的内部滑动连接有里轴23,所述里轴23与主体圆板21固定连接,所述圆形框24一端内部开设有卡位槽25,所述卡位槽25的内部滑动连接有卡位板26,所述卡位板26与里轴23固定连接,所述固定框11的上表面开设有加工槽27,所述加工槽27的下方内壁固定连接有橡胶吸盘28,所述橡胶吸盘28与吸力槽12相连通,所述圆形框24延伸至加工槽27内部,所述圆形框24上表面放置有加工晶圆29。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人镭神泰克科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹西路9号新虹产业园7栋202室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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