上海哥瑞利软件股份有限公司邹滨杰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海哥瑞利软件股份有限公司申请的专利一种半导体12寸MES系统充氮载具储柜的预搬送管理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121149070B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511649837.3,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种半导体12寸MES系统充氮载具储柜的预搬送管理方法是由邹滨杰;姜罡设计研发完成,并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体12寸MES系统充氮载具储柜的预搬送管理方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种半导体12寸MES系统充氮载具储柜的预搬送管理方法,在MES系统中配置RTD模块和GTM模块,RTD模块负责管理和计算,当载具从设备上作业结束出站后,RTD模块响应将EAP系统发起的将载具搬送到N2STK的请求,若此时N2STK没有空余位置或N2STK加载端口异常,则由RTD模块向MCS系统发送将载具搬送到STB的搬送任务并生成预搬送任务,GTM模块与MCS交互为载具下发搬送指令。采用本发明预搬送管理方法后,能够实现100%达到自动化搬送标准。12寸半导体生产无尘室可以达到“关灯”效果,无尘室内不需要操作员。
本发明授权一种半导体12寸MES系统充氮载具储柜的预搬送管理方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体12寸MES系统充氮载具储柜的预搬送管理方法,其特征在于:在所述MES系统中配置RTD模块和GTM模块,所述RTD模块负责管理和计算,当载具从设备上作业结束出站后,所述RTD模块响应将EAP系统发起的将载具搬送到N2STK的请求,若此时N2STK没有空余位置或N2STK加载端口异常,则由所述RTD模块向MCS系统发送将载具搬送到STB的搬送任务并生成预搬送任务,所述GTM模块与所述MCS交互为载具下发搬送指令;由MES系统定时任务触发预搬送任务,触发预搬送任务后的工作流程如下: 步骤C1:由所述RTD模块查询系统中是否有余位的N2STK以及是否有待处理的预搬送任务,当查询到有余位的N2STK且有待处理的预搬送任务时,则进入步骤C2; 步骤C2:所述RTD模块将把预搬送任务转换为搬送任务,并由所述GTM模块发送搬送任务给所述MCS系统,所述MCS系统发送搬送指令给AMHS系统; 步骤C3:所述AMHS系统控制载具搬送到N2STK,搬送完成; 步骤C4:所述MCS系统接收到N2STK搬送完成事件的反馈; 步骤C5:所述MCS系统上报搬送完成信息给所述GTM模块; 所述步骤C2中将预搬送任务转换为搬送任务具体包括以下步骤: 步骤C2-1:所述RTD模块根据N2STK类型去匹配预搬送的目的地类型,过滤出相同类型的预搬送任务; 步骤C2-2:如果当前载具是可搬送的状态,所述RTD模块则为当前载具生成一个搬送任务,出发地点为当前载具的位置,目的地为当前N2STK; 步骤C2-3:所述GTM模块发送搬送任务给MCS系统; 步骤C2-4:所述RTD模块基于GTM模块的反馈,将搬送任务的状态标记为已预约; 步骤C2-5:所述RTD模块删除预搬送任务,并且记录历史。
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