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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利吸盘、晶圆机械手臂及晶圆吸附工位获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121123105B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511666777.6，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权吸盘、晶圆机械手臂及晶圆吸附工位是由张琪;符友银;杨光华;曾庆毫设计研发完成，并于2025-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本吸盘、晶圆机械手臂及晶圆吸附工位在说明书摘要公布了：本申请公开一种吸盘、晶圆机械手臂及晶圆吸附工位，涉及半导体设备技术领域。该吸盘包括固定盘、活动盘和盖体，固定盘内设置有贯通槽，沿贯通槽的轴向，贯通槽上间隔设置有限位凸台和第一连接孔，活动盘上间隔设置有触发凸台和第二连接孔，活动盘滑动设置于贯通槽内，盖体盖合于固定盘；当活动盘与限位凸台抵持时，触发凸台露出固定盘外以与晶圆接触，当晶圆与触发凸台接触后，活动盘受驱相对固定盘滑动至活动盘与盖体抵持，第一连接孔和第二连接孔对准，以使真空设备与贯通槽连通，真空设备能够通过吸盘吸附固定晶圆。该吸盘通过晶圆与触发凸台接触后才能导通真空气路，可以有效避免传片过程中发生晶圆位移、掉片的问题。

本发明授权吸盘、晶圆机械手臂及晶圆吸附工位在权利要求书中公布了：1.一种吸盘，其特征在于，包括固定盘、活动盘和盖体，所述固定盘内设置有贯通槽，沿所述贯通槽的轴向，所述贯通槽上间隔设置有限位凸台以及用于与真空设备连通的第一连接孔，所述活动盘上间隔设置有触发凸台以及用于与所述贯通槽连通的第二连接孔，所述活动盘滑动设置于所述贯通槽内，所述盖体盖合于所述固定盘；当所述活动盘与所述限位凸台抵持时，所述触发凸台露出所述固定盘外以与晶圆接触，当所述晶圆与所述触发凸台接触后，所述活动盘受驱相对所述固定盘滑动至所述活动盘与所述盖体抵持，所述第一连接孔和所述第二连接孔对准，以使所述真空设备与所述贯通槽连通，所述真空设备能够通过所述吸盘吸附固定所述晶圆； 所述活动盘包括盘体以及设置于所述盘体远离所述盖体的一侧的所述触发凸台和抵接环，所述触发凸台和所述抵接环呈同轴且间隔排布，所述第二连接孔位于所述抵接环上，所述抵接环用于与所述限位凸台抵接，且所述盘体用于与所述盖体抵接。

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