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江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利晶圆盒处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121123092B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511666688.1,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权晶圆盒处理装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆盒处理装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种晶圆盒处理装置,包括:旋转组件包括旋转架、装载架和门支架,门支架可开合连接于装载架;移动件可沿旋转架的轴向移动;锁定组件包括第一锁止件与第二锁止件;限位组件包括第一限位件与第二限位件;移动件向下移动,第二锁止件脱离第一锁止件,且第二限位件与所述第一限位件卡持,以限定移动件与装载架的相对位置,从第一状态切换为第二状态;当门支架闭合于装载架时,第一限位件与第二限位件相脱离,移动件向上移动,第二锁止件与第一锁止件相卡持并限制门支架在旋转架的径向移动,从第二状态切换为第一状态。该装置结构简单,且只需要简单的操作即可实现门支架的打开和关闭,能够提高对晶圆盒的装卸效率。

本发明授权晶圆盒处理装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒处理装置,其特征在于,所述晶圆盒处理装置100包括: 旋转组件10,包括旋转架11、安装在所述旋转架11上的装载架12和门支架13,所述门支架13可开合连接于所述装载架12,所述装载架12用于承装晶圆盒; 移动件20,连接于所述装载架12,并可沿所述旋转架11的轴向移动; 锁定组件30,包括第一锁止件31与第二锁止件32,所述第一锁止件31连接于所述门支架13,所述第二锁止件32连接于所述移动件20; 限位组件40,包括第一限位件41与第二限位件42,所述第一限位件41连接于所述移动件20,所述第二限位件42连接于所述装载架12; 所述晶圆盒处理装置100具有所述门支架13与所述装载架12相对固定的第一状态和所述门支架13与所述装载架12相对可转动的第二状态;所述移动件20向下移动,所述第二锁止件32脱离所述第一锁止件31,且所述第二限位件42与所述第一限位件41卡持,以限定所述移动件20与所述装载架12的相对位置,所述晶圆盒处理装置100从所述第一状态切换为所述第二状态; 当所述门支架13闭合于所述装载架12时,所述第一限位件41与所述第二限位件42相脱离,所述移动件20向上移动,所述第二锁止件32与所述第一锁止件31相卡持并限制所述门支架13在所述旋转架11的径向移动,所述晶圆盒处理装置100从所述第二状态切换为所述第一状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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