惠科股份有限公司李泽尧获国家专利权
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龙图腾网获悉惠科股份有限公司申请的专利容栅位移传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121048476B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511615612.6,技术领域涉及:G06F3/01;该发明授权容栅位移传感器是由李泽尧;叶利丹设计研发完成,并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本容栅位移传感器在说明书摘要公布了:本申请提供了一种容栅位移传感器。第一栅板,包括平行排列且彼此错位设置的多个发射电极阵列;每个所述发射电极阵列包括沿错位方向以第一节距周期排布的多个发射电极;任意两个所述发射电极阵列之间的错位间距小于所述第一节距;第二栅板,包括呈网状设置的反射电极,所述反射电极横跨所述多个发射电极阵列。通过发射电极阵列的错位排列,将受制程极限的节距分散为多个发射电极阵列之间的错位间距,从而突破传统节距的物理限制,使容栅位移传感器在相同制程条件下实现更高精度的位移测量。第二栅板采用网状反射电极结构,该结构既降低信号传递电阻又增强电容耦合效果。
本发明授权容栅位移传感器在权利要求书中公布了:1.一种容栅位移传感器,其特征在于,包括: 第一栅板,包括平行排列且彼此错位设置的多个发射电极阵列;每个所述发射电极阵列包括沿错位方向以第一节距周期排布的多个发射电极;任意两个所述发射电极阵列之间的错位间距小于所述第一节距; 第二栅板,包括呈网状设置的反射电极,所述反射电极横跨所述多个发射电极阵列; 所述反射电极包括沿所述错位方向以第二节距周期排列的多个第一反射电极条;所述第一反射电极条沿排列方向延伸设置,所述排列方向与所述错位方向垂直设置;所述第二节距为所述第一节距的非零整数倍; 所述反射电极还包括沿所述错位方向延伸设置的多个第二反射电极条;每个所述第二反射电极条分别与各所述第一反射电极条连接,以形成网状结构; 在所述第一栅板的正投影方向上,所述第二反射电极条的投影与所述发射电极阵列错位设置。
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