买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江西鑫金晖智能科技有限公司申请的专利一种芯片烘烤用氮气保护隧道炉及烘烤方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121048384B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511559128.6，技术领域涉及：F27B9/04；该发明授权一种芯片烘烤用氮气保护隧道炉及烘烤方法是由钟信;罗黎明设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片烘烤用氮气保护隧道炉及烘烤方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种芯片烘烤用氮气保护隧道炉及烘烤方法，属于烘烤炉窑技术领域。该隧道炉依次包括密封连接的上下料模块、气氛转换模块、若干炉体模块、气氛转换模块和上下料模块。上下料模块实现载具的自动化上下料；气氛转换模块通过其密封组件、充气组件和监测组件，在载具进出炉体前进行气氛置换与隔离，确保核心工段气氛纯度；炉体模块则在氮气保护下利用循环热风组件对芯片进行均匀烘烤。各模块间通过转运模块以及炉内的步进托举与步进运输模块实现载具的精准、平稳、无污染传输。本发明有效解决了现有设备气氛控制不稳、传输过程易产生污染、烘烤均匀性差及自动化程度低等问题，特别适用于对洁净度与气氛要求严苛的芯片制造烘烤工艺。

本发明授权一种芯片烘烤用氮气保护隧道炉及烘烤方法在权利要求书中公布了：1.一种芯片烘烤用氮气保护隧道炉，其特征在于，以物料流通方向为前后方向，从前往后依次密封连接的一个上下料模块1、一个气氛转换模块2、若干炉体模块3、另外一个气氛转换模块2和另外一个上下料模块1，上下料模块1、气氛转换模块2和炉体模块3内部均设有供载具7通过的腔室，上下料模块1与气氛转换模块2之间通过转运模块4实现载具7的转移，而炉体模块3内通过步进托举模块5和步进运输模块6实现载具7的步进移动；其中： 上下料模块1，用于对盛放有产品的载具7进行上料或者下料操作； 气氛转换模块2，用于使在其腔室内部的载具7与外界隔绝后进入设定气氛环境或者与炉体模块3腔室隔绝后与外界连通；气氛转换模块2包括气氛转换机架21、密封组件22、密封传动架23、充气组件24和监测组件25，气氛转换机架21前后两侧各设有一密封组件22，每个密封组件22与一个密封传动架23连接，密封传动架23带动密封组件22移动以开启或隔绝气氛转换模块2与上下料模块1或炉体模块3间的腔室，充气组件24设置在气氛转换机架21外侧，并贯穿连通气氛转换模块2的腔室，用于对气氛转换模块2的腔室充填设定的气体，使气氛转换模块2的腔室进入设定的气氛环境，监测组件25设于气氛转换机架21上，用于监测气氛转换模块2腔室内的气氛环境是否达到设定的气氛环境； 炉体模块3，用于在设定气氛下对载具7盛放的产品进行烘烤； 步进托举模块5包括托举驱动件51、同步带组件52、传动轴53、锥齿轮组54、凸轮轴55、凸轮56、凸杆57、托举板58和步进导轨59，托举驱动件51固定设于炉体机架31下方，托举驱动件51输出轴与同步带组件52一端连接并带动同步带组件52转动，同步带组件52另一端与传动轴53连接并带动传动轴53转动，锥齿轮组54设有若干组，每组锥齿轮组54中一个锥齿轮安装在前后方向的传动轴53上，每组锥齿轮组54的另一个锥齿轮安装在左右方向的凸轮轴55上，锥齿轮组54带动凸轮轴55转动，每根凸轮轴55上左右对称安装有两个凸轮56，每个凸轮56对应设置有竖直方向的凸杆57，左侧所有凸杆57与右侧所有凸杆57的顶端均连接有一块托举板58，托举板58上各设置有一步进导轨59，启动托举驱动件51带动步进导轨59上下往复运动； 步进运输模块6包括步进驱动件61、步进传动轴62、步进轮条组63、步进滑板64、步进滑轨65、步进连板66、步进托举架67和步进支架68，步进支架68设有两个并固定安装在炉体机架31左右两侧，两步进支架68顶部水平两步进导轨59内均前后滑动连接有一步进托举架67，左右两步进托举架67之间连接有一步进连板66，步进连板66下方设置有前后滑动的步进滑板64，步进连板66与步进滑板64之间竖直距离自适应调整，步进滑板64下方与步进滑轨65滑动连接，步进滑板64下方还设置有步进轮条组63的齿条，步进轮条组63中齿轮套设在步进传动轴62上，步进传动轴62与步进驱动件61输出轴固定连接； 步进支架68顶部高于步进导轨59运动到最下方位置时步进托举架67的顶部，低于步进导轨59运动到最上方位置时步进托举架67的顶部，载具7的底部设置有供步进托举架67和步进支架68承托的底座72； 还包括有控制模块9，用于编程控制氮气保护隧道炉运行并可视化氮气保护隧道炉运行状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江西鑫金晖智能科技有限公司，其通讯地址为：341000 江西省赣州市章贡区章贡高新区水西园区金华路10号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。