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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利磁控溅射设备用多自由度复合运动磁控装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120967312B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511512902.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权磁控溅射设备用多自由度复合运动磁控装置是由张陈斌;姜颖;沈健;郭俊伟;宋永辉;王世宽设计研发完成，并于2025-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射设备用多自由度复合运动磁控装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种磁控溅射设备用多自由度复合运动磁控装置，包括主动齿轮、旋转驱动机构、磁铁安装架和至少两个被动齿轮，它们构成了偏心啮合传动结构，旋转驱动机构驱使主动齿轮自转后，通过被动齿轮与主动齿轮、磁铁安装架的同步啮合，结合主动齿轮旋转中心与磁铁安装架圆心的偏心设置，使得磁铁安装架同时进行自转与偏心旋转；磁铁安装架的自转可动态调整磁场分布节奏，削弱靶面中心与边缘的磁场强度及扫描频率差异，避免局部过度刻蚀；同时，偏心旋转能够打破固定圆形轨迹局限，使磁场向靶材边缘及偏心区域延伸，从而有效覆盖中心磁场薄弱区与边缘未扫描区。

本发明授权磁控溅射设备用多自由度复合运动磁控装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射设备用多自由度复合运动磁控装置，其特征在于，包括： 主动齿轮1和旋转驱动机构，所述旋转驱动机构用于驱使所述主动齿轮1自转； 磁铁安装架3，用于安装磁铁，所述磁铁安装架3设置呈圆环状，其内环面上设有一圈齿牙，所述主动齿轮1设于所述磁铁安装架3的内环空腔中； 至少两个被动齿轮2，设于所述主动齿轮1和所述磁铁安装架3之间，并同时与所述主动齿轮1和所述磁铁安装架3啮合； 齿轮安装板4，所述主动齿轮1和所述被动齿轮2均可转动地设置在所述齿轮安装板4上； 平移驱动机构，用于驱使所述齿轮安装板4，带动所述主动齿轮1、所述被动齿轮2和所述磁铁安装架3沿直线方向往复运动； 其中，所述主动齿轮1的旋转中心偏离所述磁铁安装架3的圆心，所述磁铁安装架3能够在所述主动齿轮1和所述被动齿轮2的带动下同时进行自转和偏心旋转运动； 所述被动齿轮2的数量为三； 三个所述被动齿轮2中，两个所述被动齿轮2的规格相同，另有一个的规格与其他两个不同，三个所述被动齿轮2呈等腰三角形分布； 所述平移驱动机构包括： 滑板31，与所述齿轮安装板4相连，所述滑板31上设有径向延伸的滑槽； 第一转轴32，可转动地设置在所述滑板31上； 固定轴33，设于所述第一转轴32一侧，并处于所述滑槽中； 第一连杆34，设于所述第一转轴32上； 第二连杆35，设于所述固定轴33上，所述第一连杆34与所述第二连杆35铰接； 所述第一转轴32旋转时，能够带动所述第一连杆34和所述第二连杆35摆动，进而带动所述滑板31和所述齿轮安装板4沿所述滑槽的延伸方向往复平移、以靠近或远离所述固定轴33。

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