买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司申请的专利一种多特征融合下的晶圆缺陷识别方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120912615B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511445119.4，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种多特征融合下的晶圆缺陷识别方法及系统是由雷剑锋设计研发完成，并于2025-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多特征融合下的晶圆缺陷识别方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多特征融合下的晶圆缺陷识别方法及系统，涉及半导体制造相关领域，该方法包括：激活光学检测器获取目标晶圆的初始表面图像，并根据预处理策略对初始表面图像进行处理，得到目标表面图像；在目标表面图像中提取第一结构对应的第一图像，并根据第一图像中的多个晶粒图像构建第一目标图；将第一目标图与第一标准图进行对比得到第一缺陷图，并基于第一缺陷图得到目标晶圆的缺陷识别结果。解决了现有晶圆缺陷识别存在的识别准确性和鲁棒性不足的技术问题，达到了提高缺陷识别的准确性和鲁棒性的技术效果。

本发明授权一种多特征融合下的晶圆缺陷识别方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种多特征融合下的晶圆缺陷识别方法，其特征在于，包括： 激活光学检测器获取目标晶圆的初始表面图像，并根据预处理策略对所述初始表面图像进行处理，得到目标表面图像； 在所述目标表面图像中提取第一结构对应的第一图像，并根据所述第一图像中的多个晶粒图像构建第一目标图； 将所述第一目标图与第一标准图进行对比得到第一缺陷图，并基于所述第一缺陷图得到所述目标晶圆的缺陷识别结果； 在所述目标表面图像中提取第一结构对应的第一图像，并根据所述第一图像中的多个晶粒图像构建第一目标图，包括： 获取所述多个晶粒图像中第一晶粒图像的第一灰度值； 获取所述多个晶粒图像中第二晶粒图像的第二灰度值，其中，所述第二晶粒图像与所述第一晶粒图像相邻； 基于所述第一灰度值与所述第二灰度值建立灰度值链表； 根据迭代筛选机制对所述灰度值链表进行迭代筛选分析，得到第一目标像素值； 基于所述第一目标像素值得到所述第一目标图； 将所述第一目标图与第一标准图进行对比得到第一缺陷图，包括： 依次对所述第一目标图与所述第一标准图进行反金字塔变换，分别得到第一目标变换图、第一标准变换图； 通过双生成通道对所述第一目标变换图与所述第一标准变换图进行分析，生成双通道缺陷图； 对所述双通道缺陷图进行融合得到所述第一缺陷图； 其中，所述双生成通道包括第一通道和第二通道，包括： 所述第一通道基于结构相似度加权原理得到第一通道缺陷图； 所述第二通道基于1-相似性值的立方运算原理得到第二通道缺陷图； 所述第一通道缺陷图和所述第二通道缺陷图组成所述双通道缺陷图。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴江区益和路268号武珞科技产业园1幢1003室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。