上海广川科技有限公司冉决千获国家专利权
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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种可识别晶圆翘曲的防碰撞取片方法及系统、存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120767219B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510911239.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种可识别晶圆翘曲的防碰撞取片方法及系统、存储介质是由冉决千;朱洪彪;姜铁程;赵金磊设计研发完成，并于2025-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可识别晶圆翘曲的防碰撞取片方法及系统、存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种可识别晶圆翘曲的防碰撞取片方法及系统、存储介质，其中方法步骤包括：在对准器晶圆垂向面上设置轮廓采集器，在对准器旋转晶圆过程中，采集晶圆轮廓点数据，用以确定晶圆的圆心位置及其与晶圆旋转中心的偏心距离，以及轮廓采集器在晶圆面上投影位置与晶圆圆心及晶圆旋转中心的方向夹角；根据偏心距离、方向夹角及已知晶圆半径，确定晶圆无翘曲的理想情况下，晶圆旋转中心到晶圆轮廓的理论距离；根据理论距离与晶圆轮廓到晶圆旋转中心的现实距离，确定晶圆理想与现实姿态的高度差，以判断晶圆翘曲程度，并对应调整机器人取片高度。籍此以防止机械手取片时与晶圆发生干涉。
本发明授权一种可识别晶圆翘曲的防碰撞取片方法及系统、存储介质在权利要求书中公布了：1.一种可识别晶圆翘曲的防碰撞取片方法，步骤包括： 在对准器晶圆垂向面上设置轮廓采集器，在对准器旋转晶圆过程中，采集晶圆轮廓点的坐标，通过最小二乘法计算晶圆圆心初始坐标；以晶圆旋转中心为原点，根据晶圆圆心初始坐标，计算晶圆圆心与晶圆旋转中心的偏心距离； 计算各晶圆轮廓点与晶圆旋转中心的现实距离，根据已知晶圆半径计算方向夹角： ； 计算晶圆无翘曲的理想情况下，晶圆旋转中心到晶圆轮廓的理论距离， ； 根据理论距离与晶圆轮廓到晶圆旋转中心的现实距离，确定晶圆理想与现实姿态的高度差，以判断晶圆翘曲程度，并对应调整机器人取片高度。
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