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中电科风华信息装备股份有限公司王旭东获国家专利权

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龙图腾网获悉中电科风华信息装备股份有限公司申请的专利兼容多尺寸晶圆盒的装载装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120015646B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510243031.8,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权兼容多尺寸晶圆盒的装载装置是由王旭东;寇欣;郭晋竹;马增刚设计研发完成,并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

兼容多尺寸晶圆盒的装载装置在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种兼容多尺寸晶圆盒的装载装置,主要解决现有晶圆盒装载装置调节费时费力以及易误选尺寸导致事故的技术问题。本装载装置包括安装座、装载组件和检测组件,装载组件包括载台和定位结构,定位结构包括定位条板和定位件,定位条板设有多个卡槽,定位件设有多类,每类定位件包括两个定位组,每个定位组由至少一个定位块组成,检测组件包括在位传感器和尺寸指示灯。本装载装置在更换所装载晶圆盒的规格时,不需对定位块进行调整,装载效率更高;并且能够提醒检测员实时装载的晶圆尺寸,从而能够有效降低检测员误选其他尺寸的概率,进而减小事故发生率。

本发明授权兼容多尺寸晶圆盒的装载装置在权利要求书中公布了:1.一种兼容多尺寸晶圆盒的装载装置,其特征在于,包括: 安装座1,其为L形结构且由水平板11和竖直板12组成,所述竖直板12开设有操作窗口121; 装载组件2,其包括载台21和定位结构22,所述载台21固定在所述水平板11上,所述载台21水平布置且对应于所述操作窗口121的底端设置,所述定位结构22位于所述载台21的上表面,所述定位结构22包括定位条板221和定位件,所述定位条板221的板面水平布置且长度方向与所述竖直板12垂直,所述定位条板221沿其长度方向间隔分布有多个卡槽223,每个卡槽223皆沿所述定位条板221的宽度方向布置且用以卡接晶圆盒100的凸条104,所述定位件设有多类且与所述卡槽223一一对应,每类定位件皆包括对称分布在所述定位条板221宽度方向上两侧的两个定位组,每个定位组由至少一个定位块222组成,所述定位块222固定在所述载台21上且用以抵接晶圆盒100的底部内壁或底部外壁; 检测组件3,其设有多组且与所述卡槽223一一对应,所述检测组件3包括在位传感器31和尺寸指示灯32,所述在位传感器31为按压式且设于对应的卡槽223内,所述尺寸指示灯32设于所述竖直板12上且与对应的在位传感器31通讯连接以在所述在位传感器31被按压时亮起; 所述卡槽223设有六个以分别用以卡接2寸、3寸、4寸、5寸、6寸和8寸的晶圆盒100,所述定位件对应设有六类,所述检测组件3对应设有六组; 所述载台21的上表面还设有防呆结构24,所述防呆结构24用以在晶圆盒100放偏时撑起所述晶圆盒100以使凸条104脱离对应卡槽223;所述防呆结构24包括两根挡杆,两根挡杆皆平行于竖直板12并且分别设于6寸晶圆盒100的两个定位组之间和8寸晶圆盒100的两个定位组之间,以防止6寸晶圆盒100和8寸晶圆盒100放偏。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中电科风华信息装备股份有限公司,其通讯地址为:030062 山西省太原市综改示范区潇河产业园区宏业东路11号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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