山东大学;山东大学苏州研究院郭春生获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学;山东大学苏州研究院申请的专利一种半导体材料蒸发器环路热管获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119958337B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410355257.2，技术领域涉及：F28D15/02；该发明授权一种半导体材料蒸发器环路热管是由郭春生;李正权;马军;周宇航;李云;黄德庆;孟鸽;曹骏腾;王帅杰设计研发完成，并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体材料蒸发器环路热管在说明书摘要公布了：本发明提供了一种半导体材料蒸发器环路热管，所述环路热管包括蒸发器和盖板，所述盖板和蒸发器封装在一起，所述盖板上设置蒸发器的入口和出口，所述盖板是硅胶盖板，所述蒸发器采用硅基材料制成。本发明把半导体材料作为蒸发器的原材料，可以实现高精度的毛细微通道的刻蚀，而且半导体材料的选用可以实现同芯片的直接集成。
本发明授权一种半导体材料蒸发器环路热管在权利要求书中公布了：1.一种半导体材料蒸发器环路热管，所述环路热管包括蒸发器和盖板，所述盖板和蒸发器封装在一起，所述盖板上设置蒸发器的入口和出口，其特征在于，所述盖板是硅胶盖板，所述蒸发器采用硅基材料制成；所述蒸发器直接与硅胶盖板进行键合；所述蒸发器包括液相通道、气相通道和硅基微通道，其中硅基微通道设置在液相通道和气相通道之间的腔室内；蒸发器内部通过蚀刻的方式蚀刻出微通道；蒸发器内部微通道结构填充包括PMMA材质的毛细材料；从液相区到气相区，毛细材料中填充的PMMA材质质量百分比含量越来越高；所述环路热管包括外接管路，外接管路包括依次相连的Luer接头、PTFE连接管和PTFE外接管，其中Luer接头连接连接蒸发器入口和出口；外接管路部分不仅起到连通蒸发器出入口的作用，同时也起到环路热管中冷凝室与储液室的作用。
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