聚灿光电科技股份有限公司张瑶获国家专利权
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龙图腾网获悉聚灿光电科技股份有限公司申请的专利一种高亮度、低泄漏、可靠性高的AlGaInP黄绿光LED外延片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119855313B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411977272.7,技术领域涉及:H10H20/812;该发明授权一种高亮度、低泄漏、可靠性高的AlGaInP黄绿光LED外延片是由张瑶;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高亮度、低泄漏、可靠性高的AlGaInP黄绿光LED外延片在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高亮度、低泄漏、可靠性高的AlGaInP黄绿光LED外延片。所述外延片包括依次生长在GaAs衬底上的N型GaAs缓冲层、N型GaInP腐蚀停层、N型GaAs欧姆接触层、N型AlGaInP电流扩展层、N型电子延缓层、N型AlInP限制层、多量子阱层、P型AlInP限制层、P型GaP电流扩展层和P型GaP欧姆接触层。通过引入电子延缓层、量子垒厚度梯度设计和Mg扩散阻挡层,有效抑制电子泄漏与Mg扩散,减少非辐射复合,显著提升LED的发光效率和高温工作稳定性。
本发明授权一种高亮度、低泄漏、可靠性高的AlGaInP黄绿光LED外延片在权利要求书中公布了:1.一种高亮度、低泄漏、可靠性高的AlGaInP黄绿光LED外延片,其特征在于,包括依次生长在GaAs衬底上的以下层结构: N型GaAs缓冲层,厚度为150-200nm,Si元素掺杂浓度为1×1018-2×1018atomscm3,掺杂剂为Si2H6; N型GaInP腐蚀停层,厚度为100-200nm,Si元素掺杂浓度为1×1018-3×1018atomscm3,掺杂剂为Si2H6; N型GaAs欧姆接触层,厚度为30-100nm,载流子浓度为3×1018-6×1018atomscm3,掺杂剂为Si2H6; N型AlGaInP电流扩展层,其厚度为1000-2500nm,成分为AlxGa1-x0.5In0.5P,其中0.6≤x≤1,载流子浓度为1×1018-3×1018atomscm3,掺杂剂为Si2H6; N型电子延缓层,具有多层超晶格结构,由AlyGa1-yInP、Al0.5In0.5P、Al0.65In0.35P子层组成,其中0.6≤y≤0.8,所述N型电子延缓层中,各子层的厚度沿外延生长方向逐层递增,具体按照以下公式确定:第n层厚度=初始厚度+最大厚度总层数×n-1,其中: AlyGa1-yInP子层最大厚度为10-20nm,初始厚度为3-5nm; Al0.5In0.5P子层最大厚度为15-25nm,初始厚度为5-7nm; Al0.65In0.35P子层最大厚度为5-10nm,初始厚度为1-3nm; 总层数为10-25对,Si元素掺杂浓度为1×1018-2×1018atomscm3,掺杂剂为Si2H6; N型AlInP限制层,厚度为150-350nm,载流子浓度为7×1017-2×1018atomscm3,掺杂剂为Si2H6; 多量子阱层,包含30-80对量子阱与量子垒,每一对由一个量子阱和一个量子垒组成,其中: 每个量子阱厚度为3-5nm; 量子垒的厚度沿生长方向从10-15nm逐层递减至4-6nm; 量子垒的Al含量从AlaGa1-aInP逐渐增加至AlbGa1-bInP,其中0.6≤a≤0.7,0.8≤b≤0.9; P型AlInP限制层,厚度为250-600nm,在P型AlInP限制层中,沿着其厚度方向,设置厚度为50-150nm的Mg扩散阻挡层,该Mg扩散阻挡层的厚度为50-150nm,掺杂浓度为1×1017-3×1017atomscm3,其余部分载流子浓度为8×1017-1.5×1018atomscm3,掺杂剂为Cp2Mg; P型GaP电流扩展层,分为: 底部低Mg掺杂层,厚度为200-300nm,Mg元素掺杂浓度为3×1017-5×1017atomscm3,顶部高Mg掺杂层,厚度为300-1500nm,Mg元素掺杂浓度为4×1018-8×1018atomscm3,掺杂剂为Cp2Mg; P型GaP欧姆接触层,厚度为30-100nm,载流子浓度为0.5×1020-2×1020atomscm3,掺杂剂为CBr4或CCl4。
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