深圳智现未来工业软件有限公司白肖艳获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳智现未来工业软件有限公司申请的专利一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119832345B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510302839.9,技术领域涉及:G06V10/764;该发明授权一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备是由白肖艳;蔡雨桐;杜云峰;夏敏;易丛文;管健设计研发完成,并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备在说明书摘要公布了:本说明书提供一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备。其中,晶圆缺陷分类方法包括:首先将晶圆缺陷图像输入分类模型,得到晶圆缺陷图像可能落入的多个晶圆缺陷类型;再将该晶圆缺陷图像输入多模态大模型,得到多模态大模型针对该晶圆缺陷图像生成的描述文本;最后将分类模型输出的多个晶圆缺陷类型和描述文本输入多模态大模型,得到最终的晶圆缺陷分类结果。通过引入多模态大模型,使得分类结果具有可解释性。通过结合多模态大模型和分类模型的生成结果进行分类,综合了两个模型的能力,从而得到更为准确的晶圆缺陷分类结果。
本发明授权一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆缺陷分类方法,其特征在于,包括: 将晶圆缺陷图像输入分类模型,获取所述晶圆缺陷图像可能落入的多个晶圆缺陷类型,以及第一信息,所述第一信息包括晶圆缺陷图像可能落入各个晶圆缺陷类型在多个晶圆缺陷类型中的排名,或者晶圆缺陷图像可能落入各个晶圆缺陷类型的概率; 将所述晶圆缺陷图像输入多模态大模型,得到针对所述晶圆缺陷图像的描述文本; 将所述描述文本和可能落入的多个晶圆缺陷类型输入多模态大模型,所述多模态大模型基于所述描述文本、可能落入的多个晶圆缺陷类型和第一信息,得到所述晶圆缺陷图像对应的晶圆缺陷分类结果;所述分类结果至少包括晶圆缺陷图像中存在的晶圆缺陷的类型,所述分类结果包括的晶圆缺陷的类型从所述可能落入的多个晶圆缺陷类型中确定;所述多模态大模型关联有知识库,所述知识库中包括多个晶圆缺陷的描述文本和各个描述文本对应的晶圆缺陷的成因; 多模态大模型根据所述分类结果,在所述知识库中检索与所述分类结果对应的描述文本;所述分类结果还包括针对所述晶圆缺陷图像的描述文本; 多模态大模型根据检索到的描述文本对应的晶圆缺陷的成因,生成所述晶圆缺陷图像中的晶圆缺陷成因。
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