苏州市职业大学张微获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州市职业大学申请的专利一种用于晶圆切割的自动化设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119658857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411773832.7,技术领域涉及:B28D5/00;该发明授权一种用于晶圆切割的自动化设备是由张微;李其龙;刘树立;高士伟设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆切割的自动化设备在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆切割技术领域,具体为一种用于晶圆切割的自动化设备,包括划片机本体、安装在划片机本体内部的切割机构、安装在划片机本体内部的吸盘机构和放置台,所述放置台用于对晶圆切割时进行支撑定位,所述划片机本体内部的一侧安装有支撑壳,所述支撑壳上安装有移动机构;此用于晶圆切割的自动化设备,通过在划片机本体内部且位于放置台外侧设有的支撑壳,且在支撑壳上设有的移动机构,同时在移动机构上设有的吹吸机构,从而在晶圆位于放置台正上方时,能够预先对晶圆下表面以及放置台上表面杂质颗粒进行检测并去除的作用,从而保证晶圆能够平整的放置在放置台上,防止晶圆在后续切割时由于不平整而出现崩片的现象。
本发明授权一种用于晶圆切割的自动化设备在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆切割的自动化设备,包括划片机本体1、安装在划片机本体1内部的切割机构11、安装在划片机本体1内部的吸盘机构12和放置台13,所述放置台13用于对晶圆切割时进行支撑定位,其特征在于:所述划片机本体1内部的一侧安装有支撑壳2,所述支撑壳2上安装有移动机构3,所述移动机构3位于放置台13外侧; 所述移动机构3处连接有吹吸机构4,所述吹吸机构4在晶圆位于放置台13上方时,所述吹吸机构4用于对放置台13上表面以及晶圆下表面杂质颗粒进行检测并去除,且在晶圆位于放置台13上表面后,对晶圆上表面杂质颗粒进行检测并去除,所述吹吸机构4在晶圆完成切割后,对晶圆表面冷却液进行抽吸; 所述吹吸机构4包括旋转壳41、第一旋转轴42、第二旋转轴43、旋转件44、导向机构45、第一导向块46、第二导向块47、同步连接件5和吹吸件6,所述旋转壳41贯穿U形口341处,所述第一旋转轴42与第二旋转轴43的一端分别与旋转壳41固定连接;所述第一旋转轴42与U形口341顶部转动连接,所述第二旋转轴43贯穿支撑块34底部,且第二旋转轴43与支撑块34转动连接,所述旋转件44安装在支撑块34底部,且旋转件44用于对第二旋转轴43进行驱动;所述导向机构45安装在旋转壳41的一侧,且导向机构45分别对第一导向块46和第二导向块47进行导向;所述第一导向块46和第二导向块47相互远离的一侧均安装有同步连接件5,且第一导向块46和第二导向块47分别通过其上的同步连接件5与导向机构45连接,所述吹吸件6安装在第一导向块46和第二导向块47上表面,且吹吸件6分别对晶圆以及放置台13进行吹吸; 所述吹吸件6包括第一吹吸管61、第二吹吸管62、直管63、U型管64、支撑件65、定位板66、伸缩管67、中转管68、抽吸件7、鼓风机8和检测件9,在晶圆位于放置台13正上方时,所述第一吹吸管61与第二吹吸管62位于晶圆和放置台13之间,所述第一吹吸管61和第二吹吸管62上均设有吹吸口;所述直管63的一端与第一吹吸管61连通,所述支撑件65位于第一导向块46上,且支撑件65用于对直管63进行支撑,所述U型管64的一端与第二吹吸管62连通,所述定位板66设有两个,两个所述定位板66固定安装在第二导向块47上,且两个定位板66用于对U型管64进行支撑;所述伸缩管67设有两个,两个所述伸缩管67的一端分别与直管63和U型管64连通,所述直管63的一端与伸缩管67转动连接,所述伸缩管67且靠近直管63一端的外侧固定连接有固定架,且固定架与支撑件65连接,两个所述伸缩管67位于划片机本体1外侧的一端均与中转管68连通,所述中转管68底部的两端分别安装有电磁阀,且中转管68底部的两端分别与抽吸件7和鼓风机8连接;所述检测件9设有两个,一个所述检测件9位于支撑件65上,另一个所述检测件9位于第二导向块47底部。
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