智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司申请的专利一种照明系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119575767B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411897902.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种照明系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种照明系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种照明系统，包括光源、耦合单元、匀光单元以及中继单元，匀光单元包括第一匀光元件以及第二匀光元件，增设第二匀光元件在第一匀光元件的上下两侧，在不影响原曝光视场尺寸以及照度且无需增加照明光源的情况下，第二匀光元件充分利用第一像方视场部分未被利用的光能，单独给位于曝光视场外边的对准标记提供均匀的照明能量，提高了光能的有效利用率，并且第二匀光元件可自由选择，提高了光照视场选择的自由度。
本发明授权一种照明系统在权利要求书中公布了：1.一种照明系统，用于向掩模版提供曝光视场，其特征在于，包括： 光源，用于提供光束； 耦合单元，用于将所述光束进行调制传递，通过改变所述耦合单元的焦距，提供不同尺寸的第一像方视场； 匀光单元，用于对所述第一像方视场中的光束进行匀光处理，在所述匀光单元的出射端面射出与出射端面等大的光束； 中继单元，所述中继单元用于将所述匀光单元的出射端面射出的光束进行等比放大，等比放大后得到所述曝光视场以及照明视场； 其中，所述匀光单元包括第一匀光元件和两个第二匀光元件，所述第一匀光元件和第二匀光元件均为长方体，所述两个第二匀光元件分设在所述第一匀光元件的上下两侧；所述第一匀光元件的入射端面位于所述第一像方视场内，所述第一匀光元件的出射端面位于所述中继单元的第二物方视场内； 所述第一匀光元件处理后的光束等比放大后得到曝光视场，所述第二匀光元件处理后的光束等比放大后得到覆盖未在所述曝光视场内的对准标记的所述照明视场。
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