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龙图腾网获悉贝尔智慧电子科技有限公司申请的专利一种氮化硅刻蚀漏板的清洗系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119310811B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411421214.6，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种氮化硅刻蚀漏板的清洗系统是由杨庆;刘正伟;朱波;唐维贵;于林生设计研发完成，并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氮化硅刻蚀漏板的清洗系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种氮化硅刻蚀漏板的清洗系统，包括第一主体、与第一主体转动连接的第二主体、由设在第一主体内的主管道和设在第二主体内的吹扫管道组成的清洗管道、与主管道连接的等离子发生器和贯穿第一主体和第二主体的回收通道，回收通道的轴线和主管道的轴线重合且回收通道位于主管道内部多个吹扫管道围绕回收通道的轴线均匀设置，吹扫管道的第一端与主管道连通，吹扫管道的第二端向靠近回收通道的方向倾斜。本申请公开的氮化硅刻蚀漏板的清洗系统，通过对基材上区域的针对性清洗来实现复杂图案上光刻胶的完全清除，同时借助移动和气流压力调整来实现各区域的清洗参数调整，避免基材长时间暴露可能导致的结构损伤。

本发明授权一种氮化硅刻蚀漏板的清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种氮化硅刻蚀漏板的清洗系统，其特征在于，包括： 第一主体11和与第一主体11转动连接的第二主体12； 清洗管道2，包括设在第一主体11内的主管道21和设在第二主体12内的吹扫管道22，吹扫管道22的数量为多个且均与主管道21连通； 等离子发生器3，与主管道21连接； 回收通道4，贯穿第一主体11和第二主体12； 其中，回收通道4的轴线和主管道21的轴线重合且回收通道4位于主管道21内部； 多个吹扫管道22围绕回收通道4的轴线均匀设置； 吹扫管道22的第一端与主管道21连通，吹扫管道22的第二端向靠近回收通道4的方向倾斜； 第二主体12的下端上设有弧形引导体23，回收通道4位于弧形引导体23的内侧，吹扫管道22的第二端位于弧形引导体23的外侧； 第二主体12的下端上设有弧形导向环24； 吹扫管道22的第二端位于弧形引导体23和弧形导向环24之间； 气体流动方向上，弧形引导体23的外壁与弧形导向环24的内壁之间的距离处处相等。

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