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龙图腾网获悉富金森(南通)科技有限公司申请的专利一种晶圆盘上料装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118929126B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411150230.6，技术领域涉及：B65G43/08；该发明授权一种晶圆盘上料装置是由刘庆伟;许红健设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盘上料装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆盘上料装置，涉及晶圆盘检测装置技术领域，所述晶圆盘上料装置包括机架、上料轨道、卸料轨道、抓手及工作台面，所述机架用于对所述上料轨道、卸料轨道及抓手进行承接，所述上料轨道与所述卸料轨道平行设置，所述工作台面在高度方向上位于所述上料轨道与所述卸料轨道之间，所述工作台面在所述上料轨道的端部及晶圆盘检测装置之间往复运动，所述抓手位于所述上料轨道的上方。通过上料轨道及卸料轨道的设置，使得在进行晶圆盘检测过程中，可以同步进行上料及卸料，保证了检测过程中，上料轨道上能够始终有晶圆盘的等待，从而提高了晶圆盘的检测效率，提高了各部件之间的工作效率。

本发明授权一种晶圆盘上料装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盘上料装置，用于对晶圆盘检测装置进行晶圆盘的上料及卸料，其特征在于：包括机架、上料轨道、卸料轨道、抓手及工作台面，所述机架用于对所述上料轨道、卸料轨道及抓手进行承接，所述上料轨道与所述卸料轨道平行设置，所述工作台面在高度方向上位于所述上料轨道与所述卸料轨道之间，所述工作台面在所述上料轨道的端部及晶圆盘检测装置之间往复运动，所述抓手位于所述上料轨道的上方，所述抓手用于抓取晶圆盘，使其在所述上料轨道、卸料轨道及工作台面之间移动； 所述机架包括承接底座及防护罩，所述承接底座用于承接所述上料轨道及所述卸料轨道，所述防护罩位于所述上料轨道的上方，用于罩设在所述抓手的外周；所述承接底座上方设置有挡板，所述挡板位于上料轨道及卸料轨道宽度方向的两侧，所述挡板长度与所述上料轨道的长度一致，所述挡板指向背离晶圆盘检测装置一侧设置有安全光栅； 所述上料轨道包括伸缩部及两组输送结构，其中，两组所述输送结构位于所述晶圆盘宽度方向两侧，所述伸缩部固定在所述挡板上，通过伸缩部的伸缩对两组所述输送结构之间的距离进行调节； 所述伸缩部包括U型架及伸缩杆，其中，所述U型架开口向上，并且U型架的两侧侧壁与两侧挡板通过螺栓固定设置，所述U型架中间位置设置有平行于所述挡板的支撑板，所述伸缩杆设置有两根，分别位于所述支撑板两侧，所述伸缩杆其中一端固定在所述支撑板上，另外一端固定在输送结构上； 所述输送结构包括一固定板，所述固定板沿水平方向延伸设置，所述固定板长度方向两端分别设置有传动轮，两所述传动轮外周套设有输送带，其中一所述传动轮为主动轮，通过电机控制，所述电机设置在所述固定板背离器设有传动轮一侧，另一传动轮为从动轮，通过输送带在传动轮上的位移实现对晶圆盘的输送；所述传动轮位于两固定板相对一侧侧面；所述伸缩杆背离所述支撑板一端端部固定设置在所述固定板上。

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